GaAs光電陰極激活工藝的自動控制研究.pdf

1、負電子親和勢GaAs光電陰極由于其優(yōu)越的性能，在近幾十年中取得了迅猛的發(fā)展。目前通過幾個典型的激活工藝已經(jīng)能獲得較好的GaAs光電陰極，但這些工藝都處于半經(jīng)驗半定量水平上，工藝影響的內在機理并不十分清楚，激活過程都是由熟練的操作人員憑經(jīng)驗完成。這種激活方式不僅消耗大量的人力，激活質量和激活工藝的可重復性也得不到很好的保證。 本文正是基于這些原因，結合國家項目，圍繞激活的機理以及工藝的自動控制進行了研究。本文主要研究GaAs光電陰

2、極激活工藝的自動控制，所設計的GaAs光電陰極智能激活測試系統(tǒng)，可以進行陰極的自動激活，提高激活的質量。本文論述了GaAs光電陰極的發(fā)展現(xiàn)狀，開展了GaAs光電陰極激活工藝的理論研究。分析現(xiàn)有的GaAs光電陰極表面模型，建立合理的表面模型，成功解釋了GaAs光電陰極的激活機理。本文研制了GaAs光電陰極智能激活測試系統(tǒng)。對系統(tǒng)的總體結構、數(shù)據(jù)采集模塊進行了設計和研制。本文設計了GaAs光電陰極激活工藝的自動控制的算法。激活過程中，分別對