計(jì)算全息對(duì)準(zhǔn)方法的研究.pdf

1、高精度的非球面的檢測(cè)技術(shù)一直是光學(xué)制造檢測(cè)領(lǐng)域致力于研究解決的關(guān)鍵技術(shù)之一，計(jì)算全息法(CGH)檢測(cè)非球面技術(shù)可以說(shuō)是這項(xiàng)技術(shù)的一大突破，然而計(jì)算全息圖在檢測(cè)光路中的對(duì)準(zhǔn)問(wèn)題仍然是實(shí)際檢驗(yàn)中的一大難題。本文對(duì)計(jì)算全息的對(duì)準(zhǔn)問(wèn)題展開(kāi)研究。 論文首先從非球面的基本概念入手，概括了非球面的基本概念和常用的檢測(cè)方法及它們各自的優(yōu)點(diǎn)和局限性。重點(diǎn)介紹了計(jì)算全息法檢測(cè)非球面的原理及測(cè)量中要了解的問(wèn)題，并且對(duì)計(jì)算全息測(cè)量法中誤差源進(jìn)行總結(jié)和分

2、析，說(shuō)明了非球面檢測(cè)中消除誤差的重要性，從而引出了進(jìn)行計(jì)算全息對(duì)準(zhǔn)的必要性。論文對(duì)常用的計(jì)算全息對(duì)準(zhǔn)方法進(jìn)行了總結(jié)，分析了各種方法的優(yōu)點(diǎn)和局限性。論文還對(duì)調(diào)整量和像差關(guān)系進(jìn)行了計(jì)算分析，從理論上去驗(yàn)證計(jì)算全息調(diào)整量對(duì)系統(tǒng)像差的影響。論文還對(duì)計(jì)算全息系統(tǒng)進(jìn)行了仿真，通過(guò)調(diào)節(jié)計(jì)算全息的位置，研究計(jì)算全息各個(gè)自由度對(duì)像差的影響，并且通過(guò)改變?nèi)肷鋸埥菍?duì)調(diào)整量靈敏度進(jìn)行分析。最后我們利用實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)一步說(shuō)明了計(jì)算全息位置調(diào)整的影響，并給出了計(jì)算全息