2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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1、在摩爾定律的指引下,半導體工業(yè)每兩至三年就跨上一個新的臺階。大量資金投入,工程技術人員的使用高于工業(yè)界平均比例,這些導致了半導體生產高昂的分攤成本,加上激烈競爭使得產品價格持續(xù)下滑,驅使大部分芯片生產廠運行在一個大規(guī)模量產,高良品率的水平上。維持及提高良品率對半導體工業(yè)至關重要,無論對于哪種工藝技術,高水平的工藝良品率是生產性能可靠的芯片并獲得收益的關鍵所在。
  抑制良品率的重要方面是有缺陷的晶圓一般是無法修復的。在某些情況下沒

2、有滿足性能要求的晶圓被降級處理做低端應用。廢棄的晶圓可以發(fā)揮余熱,被用作某些制程工藝的控制晶圓或假片,這些缺陷主要來源于晶圓生產區(qū)域涉及到的不同的液體、氣體、潔凈室空氣、人員、工藝、設備和水。微粒和其它細小的污染物寄留在晶圓內部或表面,晶圓表面受到了污染或產生不規(guī)則的孤立區(qū)域。很多缺陷是在光刻時造成的,研究并解決光刻晶圓缺陷問題,對提高芯片良品率意義重大[1]。
  本文首先對微電子技術,集成電路,半導體制造基本流程進行了簡單的概

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