球面及柱面絕對測量技術(shù)研究.pdf

1、本文在回顧光學(xué)干涉測量的基礎(chǔ)上.介紹了作者在球面激光干涉儀上實(shí)現(xiàn)球面面形及柱面形的絕對測量方面所作的研究工作.重點(diǎn)介紹了:1.用三次及二次檢驗法對球面光學(xué)零件面形的絕對檢驗法原理、技術(shù)關(guān)鍵、實(shí)驗結(jié)果和測量不確定度分析;2.采用三次對柱面光學(xué)零件面形的絕對檢驗法原理、技術(shù)關(guān)鍵、實(shí)驗結(jié)果和測量不確定度分析.球面面形的絕對檢驗方法,采用了三次檢驗法和二次檢驗法.三次檢驗法是在球面干涉儀測量的基礎(chǔ)上,通過常規(guī)測試、旋轉(zhuǎn)被測件180°測試、轉(zhuǎn)動被

2、測件貓眼位置測試將三次測量結(jié)果進(jìn)行處理,分離出被測面形的絕對誤差.二次檢驗法是三次檢驗法的一種簡化,適用于被測件面形旋轉(zhuǎn)對稱分布或精度要求不高的情況下,其測量是省略去了三次檢驗法中的旋轉(zhuǎn)測量過程.柱面面形絕對檢驗法采用三次檢驗的柱面絕對檢驗法,利用斐索干涉儀主機(jī),配以標(biāo)準(zhǔn)柱面透鏡,產(chǎn)生一柱面波與被測柱面鏡產(chǎn)生的柱面波干涉.進(jìn)行三次絕對干涉測量,即常規(guī)測試、被測柱面鏡旋轉(zhuǎn)180°測試及貓眼位置測試,將三幅干涉圖通過軟件進(jìn)行處理,消除裝置的