基于單晶爐電源的三相PWM整流器研究.pdf

1、單晶爐電源是一種低電壓大電流整流電源,通過給單晶爐內(nèi)的石墨加熱器加熱,為單晶硅的生產(chǎn)提供熱場(chǎng)；而熱場(chǎng)的穩(wěn)定性是影響單晶硅質(zhì)量的一個(gè)關(guān)鍵因素,因此為了提高單晶硅的質(zhì)量,必須提高單晶爐電源的性能及穩(wěn)定性。
　　 本文首先對(duì)單晶爐電源的現(xiàn)狀及發(fā)展方向作了分析,并對(duì)比分析了PWM高頻整流單晶爐電源與傳統(tǒng)的相控整流電源的工作性能。然后針對(duì)目前單晶硅行業(yè)普遍采用的可控硅相控整流存在的功率因數(shù)低、輸出直流電壓穩(wěn)定性差、快速響應(yīng)慢等缺點(diǎn),將PW

2、M整流器技術(shù)引入到單晶硅電源的設(shè)計(jì)中,從而提高電源的整體性能,提高功率因數(shù),降低諧波污染。詳細(xì)分析了PWM整流器的工作原理及拓?fù)浣Y(jié)構(gòu),分析主電路的設(shè)計(jì)方法及關(guān)鍵器件的選型,討論單晶爐電源中三相電壓型PWM整流器系統(tǒng)的硬件電路設(shè)計(jì)。根據(jù)單晶爐電源控制要求,對(duì)比分析PWM單周控制和空間電壓矢量脈寬調(diào)制(SVPWM)。針對(duì)基于SVPWM控制的電壓型PWM整流器控制系統(tǒng)中雙閉環(huán)控制設(shè)計(jì)原理及PWM單周控制存在的缺點(diǎn),提出了一種基于PWM單周控制