工件臺掩膜臺運動控制卡設計及同步方法研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩83頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、光刻機是現(xiàn)在生產(chǎn)集成電路所用的最主要的專用設備，其采用一種光腐蝕技術將所需要的電子元器件刻在半導體硅片上。集成電路隨著計算機和信息技術的要求而不斷發(fā)展，其功率消耗越來越低，集成度不斷增大，制程工藝也就相應日益精密，從當初的微米級發(fā)展到現(xiàn)在的幾十納米，這就給光刻機的發(fā)展帶來了巨大的挑戰(zhàn)。為打破發(fā)達國家在集成電路這一行業(yè)的壟斷，我國開始大力加強光刻機的發(fā)展。
　　本文以光刻機精密工件臺和掩膜臺為主要研究對象，對其專用運動控制卡設計以及

2、同步控制理論方面做了一定的研究。本課題在光刻機控制系統(tǒng)方面采用的是國際上精密設備比較常用的方式：工控機結合專用運動控制卡?？刂瓶ㄅc工控機通信總線采用的是傳輸速度快、運行可靠的VME總線?？刂瓶ㄓ布O計方面充分考慮系統(tǒng)控制精度、響應速度、實時性以及成本等要求，進行芯片選型和電路設計。主要控制核心采用TI公司的DSP TMS320F2812，VME總線接口芯片采用的是 SCV64，為了避免通信時發(fā)生擁堵現(xiàn)象，兩者之間的數(shù)據(jù)緩沖采用雙口 RA

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論