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文檔簡介
1、本文系統(tǒng)地研究了低溫泵的工作過程，詳細(xì)地總結(jié)了低溫泵的在使用過程中應(yīng)注意的問題與解決方案。對低溫泵整體結(jié)構(gòu)、氦氣壓縮機(jī)的結(jié)構(gòu)和抽氣機(jī)理進(jìn)行了分析，對制冷量、熱負(fù)載和切換點(diǎn)進(jìn)行了計(jì)算。根據(jù)不同工藝的實(shí)際要求和參數(shù)設(shè)定的要求，對低溫泵的熱負(fù)載、控溫、容量、抽速和再生進(jìn)行了測試。通過研究表明對大多數(shù)工藝，低溫泵第一級控溫在65K-100K比較合適，此時第二級處于12K-15K左右，處于低溫吸附氫氣和氦氣的最佳范圍內(nèi)。低溫泵系統(tǒng)的故障主要有：壓
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