精密儀器用主動(dòng)隔振系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與分析.pdf

1、微振動(dòng)是影響精密儀器、設(shè)備精度和性能的關(guān)鍵因素。隨著精密儀器設(shè)備精度的不斷提高，市場(chǎng)對(duì)精密隔振系統(tǒng)的性能要求也越來越高。本文參考現(xiàn)有的隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案，從隔振系統(tǒng)支撐方式、關(guān)鍵部件的布置、選型和設(shè)計(jì)以及隔振性能測(cè)試三個(gè)方面進(jìn)行了相關(guān)研究。
　　本文分析隔振系統(tǒng)的隔振需求，參考現(xiàn)有隔振產(chǎn)品的性能參數(shù)，提出了主動(dòng)隔振系統(tǒng)的設(shè)計(jì)要求和隔振系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案；對(duì)隔振系統(tǒng)結(jié)構(gòu)形式、傳感器和作動(dòng)器的布置、彈性元件和作動(dòng)器的選型設(shè)計(jì)進(jìn)行了分析；建立

2、了線性化的隔振系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)模型。
　　對(duì)壓縮彈簧進(jìn)行設(shè)計(jì)和分析校核；建立了壓縮彈簧的有限元模型，對(duì)壓縮彈簧軸向和徑向剛度以及屈曲模態(tài)進(jìn)行了分析；測(cè)試了壓縮彈簧的軸向剛度，測(cè)試結(jié)果和有限元分析誤差為5.1％。
　　設(shè)計(jì)了臺(tái)面的詳細(xì)結(jié)構(gòu)；建立了上板結(jié)構(gòu)的有限元模型，分析其自由模態(tài)；進(jìn)行上板的試驗(yàn)?zāi)B(tài)測(cè)試，上板的一階模態(tài)固有頻率達(dá)到106.8Hz，測(cè)試結(jié)果和有限元分析結(jié)果的誤差在10%以內(nèi)。
　　計(jì)算了隔振系統(tǒng)的各階固有頻率；