精密光學玻璃平板檢測儀器的隔振系統(tǒng)優(yōu)化設計.pdf

1、伴隨著科學技術的不斷進步，精密加工設備和精密測量儀器的精度也在逐漸提高。來自環(huán)境的振動干擾對精密儀器的測量精度的影響不可忽略，精密測量儀器的隔振技術已成為本領域科學研究和工程應用中的重要課題。為了滿足精密儀器工作時對振動的控制要求，需要針對不同的設備采用不同的隔振系統(tǒng)，來取得更加優(yōu)異的隔振效果，使得精密儀器能夠獲得穩(wěn)定的工作環(huán)境。
　　本文針對一種高精度的大型平板顯示屏自動光學檢測儀器機臺隔振系統(tǒng)，提出了雙層隔振方案，較為系統(tǒng)地研

2、究了雙層隔振系統(tǒng)的有關基礎理論，在此基礎上對平板顯示屏自動光學檢測儀器的隔振系統(tǒng)進行了設計。主要研究內容包括:針對本文的雙層隔振系統(tǒng)，采用四端參數(shù)法進行理論建模分析，建立了矢量四端網(wǎng)絡參數(shù)模型。依據(jù)隔振原理，在Adams中建立精密光學檢測儀器雙層隔振系統(tǒng)模型，分析了單層隔振系統(tǒng)，與雙層隔振系統(tǒng)對儀器設備隔振效果的影響;研究了雙層隔振系統(tǒng)中隔振器的安裝位置，隔振器剛度，基礎板厚度，隔振器形狀，以及中間質量和上層機械設備的質量比對隔振效果的