雙面凸點轉接板垂直互連技術研究.pdf

1、板級系統(tǒng)的集成是三維組裝技術的一個發(fā)展方向和研究內(nèi)涵,由其帶來的科學與技術問題的研究是一個很有意義的課題。
　　本文首先對用于板間鍵合的轉接板的結構進行設計,確定轉接板焊盤的表面處理工藝、阻焊結構,分析了激光重熔時間對釬料凸點形貌以及抗剪強度的影響。然后利用不同的釬料制備不同的轉接板凸點結構,分析激光重熔的界面反應過程以及不同激光重熔時間對釬料凸點界面以及內(nèi)部組織的影響。制備完成的雙面凸點轉接板利用熱風重熔和適當?shù)膶屎涂刂仆瓿砂?/p>

2、間鍵合,分析了板間鍵合過程后凸點內(nèi)部的組織變化。
　　研究結果表明:適當?shù)募す庵厝蹍?shù)能夠制備質(zhì)量良好的轉接板釬料凸點,不同釬料和不同的表面處理工藝焊盤表現(xiàn)出不同的剪切強度,但都高于熱風重熔的釬料凸點的剪切強度,原因是激光重熔的釬料凸點組織致密均勻,韌性和抗疲勞性能較為優(yōu)越。從界面反應機理上分析,焊盤金屬元素的擴散與溶解是激光重熔制備釬料凸點的物理基礎。不同的焊盤元素在熔融釬料中的溶解速率是不一樣的,Au最快,Cu次之,Ni最慢。

3、由此在激光重熔過程中界面金屬間化合物的形態(tài)和厚度也是不一樣的。由于激光重熔較快的加熱和冷卻速度,釬料凸點的晶粒和取向也有別于熱風重熔的釬料凸點。實驗發(fā)現(xiàn),激光重熔的SAC釬料凸點的晶粒數(shù)目多于熱風重熔的釬料凸點,沒有確定的擇優(yōu)取向。不同釬料在不同激光重熔時間下,生成的界面金屬間化合物的種類和形態(tài)是不一樣的,原因是熱力學條件下的平衡不同。
　　利用激光重熔制備的雙面凸點轉接板完成板間鍵合,并制作完成了三維立體組裝的樣品。板間鍵合后,