2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
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文檔簡(jiǎn)介

1、大連理工大學(xué)碩士學(xué)位論文同軸ECR微波等離子體系統(tǒng)設(shè)計(jì)姓名：張曉輝申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：通信與信息系統(tǒng)指導(dǎo)教師：劉軍民20071201大連理工大學(xué)碩士學(xué)位論文TheDesignofECRMicrowavePlasmaSystemofcoaxialAbstractLow—temperatureplasmatechnologyofMicrowaveexcitationnOWisthefrontdevelopmentofplasmatech

2、nologyapplication，withlowenergyconsumption，highefficiencylow—cost，theadvantagesoflargeareasItisparticularlyapplicabletotheproductionofnewmaterials，militaryaffairs，optoelectronicdevicesinsuchapplicationsAndmicrowaveelectr

3、oncyclotronn絡(luò)on柚ce(ECR)isfinadvancedlowtemperatureplasmatechnology，whichhasgoodoverallindicatortoimprovemicroelectronics，Optoelectronicintegratedcircuitsforapplicationssuchasmanufacturingtechnology，ultralargescaleintegra

4、tedcircuitsinthefieldoflowtemperatureplasmaprocessingCurrentlyElectronCyclotronResonanceMicrowavetechnologyhasbeenwidelyappliedtotheplasmaapplicationindustryThecorecomponentsofECRmicrowaveplasmaapplicationsystemreactionc

5、hamberhasacrucialroletoplayItensuresthatthepowerofthemicrowavecavityformationofaspecificdistributionmodelandmakeitspecificconfigurationoftheplasmareactionwiththegoaltohavethemosteffectiveinteractiontoachievethedesiredres

6、ultsofexperiments，orforprocessingThearticleintroducesthegeneralmicrowaveplasmasystemcomponentsandapplicationanalysistheprincipleofECRmicrowaveplasmasystemfromelectromagneticaangle，discussedtheworkmechanismofECRmicrowavep

7、lasmasystemDiscussedtheresonateconditionofmicrowaveECRplasmasystemandexplainedtheinfluenceofmicrowaveSOUrceandmagneticfieldonresonatesconditionThepaperdesignsthecoaxialECRmicrowaveplasmasystembasedongappedcoaxialradiatio

8、ntoimprovetheperformanceofmetaltube，andanalyzesthenewsystemfeasibilityCoaxialECRmicrowaveplasmasystemisdesigned，equipment、deviceandtheirparameterarealsochoosenaccordingtospecifications，especiallytheworkingconditionsandge

9、ometryFinally，thispapersimulatestheenergydistributionandtheelectronicfieldinthisradiatorinuseofAnsoftHFSS92，theresultprovesthatthissystemiSreasonableandfeasibleKeyWords：coaxialline；Electroncyclotronresonance；Microwavepla

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