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1、本文利用矩形波導(dǎo)微波化學(xué)反應(yīng)系統(tǒng),對(duì)微波等離子體作用下,甲烷及甲烷和氫氣的混合氣體產(chǎn)生等離子體進(jìn)行研究,具體分析了氣體壓強(qiáng)、微波功率及氣體比例對(duì)反應(yīng)產(chǎn)物的影響,以及生成乙炔的能量產(chǎn)率和時(shí)空產(chǎn)率。利用基于有限元方法的HFSS軟件設(shè)計(jì)了滿(mǎn)足實(shí)驗(yàn)要求的高功率微波可變衰減器;提出了一種非接觸式測(cè)量等離子體的相對(duì)介電常數(shù)的方法,即通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)量結(jié)合HFSS軟件仿真技術(shù)來(lái)確定等離子體的等效相對(duì)介電常數(shù);在實(shí)驗(yàn)中發(fā)現(xiàn)微波等離子體甲烷偶聯(lián)時(shí)乙炔收率遠(yuǎn)高于
2、傳統(tǒng)熱力學(xué)平衡收率理論值,由于在微波等離子體系統(tǒng)中存在著非膨脹功,而熱力學(xué)平衡收率的推導(dǎo)前提是忽略了非膨脹功。
第一章在廣泛調(diào)查基礎(chǔ)上,論述了微波等離子體條件下,甲烷偶聯(lián)反應(yīng)的發(fā)展?fàn)顩r,闡述了前人研究的困難和不足,概述了本文的主要內(nèi)容及在微波等離子體條件中甲烷偶聯(lián)的研究方面所做的創(chuàng)新性工作。
第二章根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求設(shè)計(jì)了一套基于矩形波導(dǎo)的微波化學(xué)反應(yīng)系統(tǒng)。利用HFSS軟件設(shè)計(jì)了高功率微波可變衰減器,制成的衰減器的
3、衰減量和電壓駐波比基本符合實(shí)驗(yàn)要求。
第三章提出了一種非接觸式測(cè)量等離子體的相對(duì)介電常數(shù)的方法,即通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)量結(jié)合HFSS軟件仿真技術(shù)來(lái)確定等離子體的等效相對(duì)介電常數(shù)。根據(jù)實(shí)驗(yàn)中微波矩形諧振腔內(nèi)氫氣等離子體生成前后諧振頻率的變化,利用HFSS軟件仿真能夠計(jì)算出氫氣等離子體的等效相對(duì)介電常數(shù),并且用聚四氟乙烯驗(yàn)證了該方法的可信性。由仿真結(jié)果可知:氫氣和氫氣等離子體的相對(duì)介電常數(shù)有明顯的不同,氫氣等離子體的等效相對(duì)介電常數(shù)小于
4、1。一定的壓強(qiáng)范圍內(nèi),氫氣等離子體的等效相對(duì)介電常數(shù)隨著等離子體壓強(qiáng)的變化而變化。
第四章進(jìn)行了單模諧振腔中微波等離子體下甲烷偶聯(lián)的實(shí)驗(yàn)。通過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)矩形波導(dǎo)諧振腔微波化學(xué)反應(yīng)器,大幅提高微波等離子體下甲烷轉(zhuǎn)化率(最高為93.7%)、C2烴收率(最高為91%)和乙炔收率(最高為88.6%)。與文獻(xiàn)相比,生成乙炔的能量產(chǎn)率和時(shí)空產(chǎn)率也都比較高。說(shuō)明本實(shí)驗(yàn)在優(yōu)化反應(yīng)器結(jié)構(gòu)后,甲烷轉(zhuǎn)化為乙炔的綜合效果較好。在常壓時(shí),微波等離子體
5、下,討論了n(CH4)/n(H2)對(duì)積碳的影響,結(jié)果表明當(dāng)n(CH4)/n(H2)為1/4或比例更小時(shí)積碳較少。當(dāng)n(CH4)/n(H2)為1/4時(shí),甲烷偶聯(lián)反應(yīng)能夠持續(xù)30分鐘以上。
第五章對(duì)微波等離子體催化甲烷偶聯(lián)制C2烴進(jìn)行了理論探討。利用發(fā)射光譜法對(duì)微波等離子體下甲烷偶聯(lián)反應(yīng)進(jìn)行了診斷研究,在300nm~750nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)激發(fā)態(tài)物種有:CH,C2,H2,Hα。根據(jù)反應(yīng)產(chǎn)物和激發(fā)態(tài)物種從化學(xué)反應(yīng)熱力學(xué)和動(dòng)力學(xué)上對(duì)甲
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