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文檔簡介
1、隨著光學薄膜技術的不斷發(fā)展,光學薄膜器件的應用日益廣泛,光學薄膜的研究已被提到了極其重要的地位。為了制備出大功率激光器中激光偏振膜,本課題從鍍膜材料特性、膜系設計、沉積工藝等方面對這一問題展開了深入的研究。 本文從薄膜光學基本理論和膜系設計理論方面闡述了抗激光損傷薄膜的原理,簡要介紹了影響光學薄膜穩(wěn)定性的各種因素,選用HfO<,2>、SiO<,2>作為鍍膜材料,試驗在Integrity-36全自動真空鍍膜機上完成,利用電子束和離
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