激光橢圓偏振法測(cè)量鋁箔表面氧化膜厚度方法

1、XX/T XXXXX—XXXX6A A附 錄 A（規(guī)范性附錄）激光橢圓偏振法測(cè)量鋁箔表面氧化膜厚度方法（參考件）A.1 范圍本方法適用于軟狀態(tài)高壓原箔的表面氧化膜厚度的測(cè)定。A.2 試驗(yàn)設(shè)備激光橢圓測(cè)厚儀：測(cè)量范圍：0nm~300nm；精度：±1nm；起偏器旋轉(zhuǎn)角度：0℃~180℃；四分之一波片旋轉(zhuǎn)角度：-90 。~90 。；檢偏器旋轉(zhuǎn)角度：-90 。~90 。；激光入射角≤90 。。A.3 樣品尺寸a) 矩形樣片：長(zhǎng) 10m

2、m~20mm，寬 10mm~20mm；b) 圓形樣片：直徑 10mm~20mm。A.4 方法原理圖圖 A.1 測(cè)量表面氧化膜厚度的方法原理圖XX/T XXXXX—XXXX71．激光器；2.激光器出射光欄；3.起偏器；4.起偏器讀數(shù)顯微鏡；5.四分之一波片；6.四分之一波片讀數(shù)顯微鏡；7.入射光欄；8.待測(cè)樣片；9.樣品臺(tái)；10.出射光欄；11.檢偏器；12.檢偏器讀數(shù)顯微鏡；13.檢流計(jì)光欄；14.光電倍增管及檢流計(jì)。A.5 測(cè)量A.5

3、.1 測(cè)量準(zhǔn)備A.5.1.1 在測(cè)量前調(diào)整激光器光軸與檢流計(jì)光軸準(zhǔn)直，以確保出射光被檢流計(jì)接收。A.5.1.2 實(shí)驗(yàn)前應(yīng)獲得鋁箔材料基體的折射率及光吸收系數(shù)。A.5.2 根據(jù)激光橢圓偏振測(cè)量膜層厚度的方法，測(cè)量鋁箔表面氧化層相應(yīng)的參數(shù)，測(cè)量時(shí)可選擇適當(dāng)?shù)募す馄?，以獲得特定的波長(zhǎng)（如He-Ne激光器） ，也可根據(jù)實(shí)驗(yàn)選擇適當(dāng)?shù)墓怆姳对龉芎蜋z流計(jì)。A.5.3 為消除實(shí)驗(yàn)誤差，采用激光束變角度入射（如50 °、60 °、7