隧道狀態(tài)下納米級(jí)振動(dòng)檢測(cè)技術(shù)的研究.pdf

1、振動(dòng)是提高納米測(cè)量精度的主要障礙之一.抗振、隔振、振動(dòng)補(bǔ)償技術(shù)成為納米測(cè)量領(lǐng)域中的一大分支,特別是納米級(jí)振動(dòng)測(cè)試技術(shù)的發(fā)展,對(duì)于納米學(xué)科的研究具有非常重要的意義.該課題從對(duì)STM的振動(dòng)敏感性的分析出發(fā),對(duì)基于隧道效應(yīng)的納米級(jí)振動(dòng)的理論、技術(shù)及測(cè)試方法進(jìn)行了初步的研究和探索,分析了振動(dòng)對(duì)STM的影響.該文使用納米級(jí)的微動(dòng)平臺(tái)作為調(diào)整機(jī)構(gòu),配合自行研制的隧道電流傳感器,通過外加振動(dòng)源,在隧道狀態(tài)下對(duì)納米級(jí)振動(dòng)進(jìn)行了檢測(cè)實(shí)驗(yàn).實(shí)驗(yàn)表明基于隧道

2、效應(yīng)的振動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)具有很高的靈敏度,良好的頻率特性和與STM一致的振動(dòng)響應(yīng)特性,可以為STM提供振動(dòng)補(bǔ)償,提高此類儀器的測(cè)量精度.該文的主要研究?jī)?nèi)容是:1.通過分析STM對(duì)振動(dòng)的敏感性,提出基于隧道效應(yīng)的納米級(jí)振動(dòng)測(cè)試方法的設(shè)計(jì).2.詳細(xì)研究了隧道電流的變化規(guī)律,設(shè)計(jì)了適用于隧道電流的前置放大電路及電學(xué)系統(tǒng).3.構(gòu)建振動(dòng)檢測(cè)裝置,能夠?qū){米級(jí)的振動(dòng)進(jìn)行檢測(cè).4.進(jìn)行了隧道電流傳感器的靜態(tài)、動(dòng)態(tài)特性的檢測(cè)試驗(yàn),并對(duì)傳感器靜態(tài)特性進(jìn)行了標(biāo)定