已閱讀1頁，還剩54頁未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀
版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、立方氮化硼(cBN)是一種超硬寬帶隙材料，不僅具有僅次于金剛石的硬度、在高溫下有強(qiáng)的抗氧化能力、不易與鐵族金屬反應(yīng)，因此可用于切削工具等，而且，能夠?qū)崿F(xiàn)n型或p型摻雜，在電子學(xué)和光學(xué)器件等方面有著重要的應(yīng)用前景。cBN薄膜的制備和性質(zhì)研究一直是國際材料科學(xué)界的研究熱點(diǎn)和難點(diǎn)之一。本文主要研究了高質(zhì)量半導(dǎo)體cBN薄膜的制備以及BN(n-type)/Si(p-type)異質(zhì)結(jié)的特性。 用射頻濺射(RF)方法在硅襯底上沉積了氮化硼薄膜
2、。系統(tǒng)地研究了襯底溫度、基底偏壓、Si襯底電阻率等多種因素對制備cBN薄膜的影響。用紅外光譜、掃描電鏡及原子力顯微鏡、X射線光電子能譜等對材料的結(jié)構(gòu)、成份等進(jìn)行了表征。在p型單晶Si片上，沉積cBN薄膜，而后用離子注入S摻雜的方法制備出n型BN薄膜，并且研究了BN(n-type)/Si(p-type)異質(zhì)結(jié)的I-V曲線。 基于優(yōu)化的沉積條件，采用兩步沉積方法，制備出立方相含量接近100％的cBN薄膜。實(shí)驗(yàn)還發(fā)現(xiàn)，用兩步法制備的c
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 高質(zhì)量立方氮化硼薄膜的制備及其光電特性研究.pdf
- 立方氮化硼薄膜的制備及其相關(guān)應(yīng)用展望
- 立方氮化硼薄膜的制備與表征
- 立方氮化硼薄膜的制備和機(jī)理研究.pdf
- 立方氮化硼薄膜的制備和電學(xué)性質(zhì)研究.pdf
- 六方氮化硼薄膜的制備及性能研究.pdf
- 高質(zhì)量立方氮化硼薄膜的制備和光電特性研究.pdf
- 氮化硼納米片的制備及其性質(zhì)研究.pdf
- Ⅲ族氮化物半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)的生長及其特性.pdf
- 石墨烯-氮化硼納米帶異質(zhì)結(jié)的熱、電輸運(yùn)性質(zhì)研究.pdf
- 寬帶隙半導(dǎo)體AlN材料制備及異質(zhì)結(jié)特性研究.pdf
- 氮化硼-石墨烯復(fù)合薄膜的制備及表征.pdf
- 寬帶隙立方氮化硼薄膜的制備與摻雜研究.pdf
- 立方氮化硼薄膜的磁控濺射制備和摻雜研究.pdf
- 磁控濺射法制備六方氮化硼薄膜及其結(jié)構(gòu)研究.pdf
- 氮化硼層層自組裝復(fù)合薄膜的制備及性能研究.pdf
- 氮化硼及其導(dǎo)熱復(fù)合材料的制備研究.pdf
- 氮化鎵基半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)應(yīng)力相關(guān)特性研究.pdf
- 立方氮化硼薄膜的射頻濺射制備和光學(xué)性質(zhì)研究.pdf
- 高比表面氮化硼的制備研究.pdf
評論
0/150
提交評論