基于環(huán)境振動的光柵刻劃機隔振平臺的動力學(xué)研究.pdf

1、光柵刻劃機的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，對工作環(huán)境要求嚴(yán)格，對各種環(huán)境振動因素的敏感度較高，很微小的振動也會對加工精度造成巨大的影響，因此隔絕這種有害的振動特別重要;本文研究了在各種環(huán)境振動因素下，光柵刻劃機的微振動隔振平臺的動力學(xué)問題，并且構(gòu)建了隔振平臺的固連式結(jié)構(gòu)模型，對光柵刻劃機的微振動隔振平臺進行了動力學(xué)分析。
　　(1)分析影響光柵刻劃機隔振平臺的環(huán)境微振動因素，對微振動的特點進行討論，提出環(huán)境振動因素下隔振平臺的模型。
　　(2)

2、介紹了一些環(huán)境振動隔振技術(shù)，對比了三種主要的隔振技術(shù)優(yōu)缺點，以及各種隔振技術(shù)的設(shè)備等;根據(jù)光柵刻劃機的隔振平臺結(jié)構(gòu)，將結(jié)構(gòu)進行簡化處理，建立了微振動隔振平臺被動隔振的離散化模型，在此基礎(chǔ)上，對比了兩種微振動隔振平臺結(jié)構(gòu)，即分散結(jié)構(gòu)和固連結(jié)構(gòu)模型，根據(jù)輸入的激勵得到的響應(yīng)，確定固連結(jié)構(gòu)可以達到有效的減振。
　　(3)在環(huán)境振動和被動隔振技術(shù)下，對等效的單質(zhì)點雙層隔振平臺模型進行了振動分析，得知微振動隔振平臺僅僅采用被動隔振裝置，遠遠

3、達不到設(shè)備所需的精度條件，因此提出了采用主被動隔振相互結(jié)合的混合隔振機制的固連結(jié)構(gòu)式的微振動隔振平臺。
　　(4)基于Udwadia-Kalaba理論對光柵刻劃機隔振平臺進行動力學(xué)研究，在環(huán)境振動和混合隔振技術(shù)基礎(chǔ)上，建立微振動隔振平臺離散化模型，其單質(zhì)點為雙層隔振模型，最終提出了一種基于系統(tǒng)約束的U-K理論，建立了微振動隔振平臺的數(shù)學(xué)模型，并通過MATLAB仿真得到其主動隔振的控制力。
　　本文分析了影響微振動平臺的環(huán)境因