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文檔簡介
1、該文主要研究采用噴墨打印技術(shù)制備金屬氧化物氣敏薄膜元件.與現(xiàn)今常用的物理氣相沉積法(PVD)、化學(xué)氣相沉積法(CVD)等薄膜制備技術(shù)相比,噴墨打印技術(shù)在控制薄膜厚度、摻雜物質(zhì)種類和濃度以及多種材料薄膜集成化方面有著明顯的優(yōu)勢.氣敏材料墨水的配制是利用噴墨打印技術(shù)制備薄膜的關(guān)鍵.墨水的表面張力、粘度和干燥速度等物理參量,決定了最終能否成功噴射成膜以及成膜的性能好壞.該文系統(tǒng)研究了Au、Pd、Ag、ZrO<,2>、ZnO、SnO<,2>等多
2、種金屬、金屬氧化物材料墨水的制備工藝,探討其不同溶劑體系、多種添加劑以及PH值等對墨水性能的影響,確定了可實現(xiàn)噴射成膜的墨水基本物理參數(shù),要求粘度小于20mPa·S,表面張力在20~40mN·m<'-1>之間,并選定了以二水醋酸鋅Zn(CH<,3>COO)·2H<,2>O和二水氯化亞錫(SnCl<,2>·2H<,2>O)為等原材料,采用膠體化學(xué)方法成功配制了滿足噴射要求的ZnO、SnO<,2>氣敏材料墨水以及Au、Pd、Ag、ZrO<,
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