溶膠凝膠法制備二氧化錫氣敏薄膜.pdf

1、分類號學號M201172165學校代碼10487密級碩士學位論文碩士學位論文溶膠凝膠法溶膠凝膠法制備二氧化錫氣敏薄膜制備二氧化錫氣敏薄膜學位申位申請人：谷清慧谷清慧學科專業(yè)學科專業(yè)：集成電路工程集成電路工程指導(dǎo)教師指導(dǎo)教師：傅邱云傅邱云教授教授答辯日期答辯日期：2013.05.28獨創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學位論文是我個人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進行的研究工作及取得的研究成果。盡我所知，除文中已經(jīng)標明引用的內(nèi)容外，本論文不包含任何其他個人或集體已經(jīng)

2、發(fā)表或撰寫過的研究成果。對本文的研究做出貢獻的個人和集體，均已在文中以明確方式標明。本人完全意識到，本聲明的法律結(jié)果由本人承擔。學位論文作者簽名：日期：年月日學位論文版權(quán)使用授權(quán)書本學位論文作者完全了解學校有關(guān)保留、使用學位論文的規(guī)定，即：學校有權(quán)保留并向國家有關(guān)部門或機構(gòu)送交論文的復(fù)印件和電子版，允許論文被查閱和借閱。本人授權(quán)華中科技大學可以將本學位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫進行檢索，可以采用影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存和匯