小像差壓電變形鏡制造技術研究.pdf

1、自適應光學技術中，反射式波前校正器因具有高響應速度、可實時校正波前而得到廣泛應用。在眾多類型的變形反射鏡中，分立壓電式連續(xù)鏡面變形鏡因表面沒有間斷點、能承受較大功率等優(yōu)點，已成功應用于國內外多個自適應光學系統(tǒng)。但是將自適應光學應用于全息光學技術中未見報道。本文將自適應光學技術引入全息記錄光學系統(tǒng)中，研究了一種具有小像差特征的壓電變形鏡，用以實現(xiàn)全息光學記錄系統(tǒng)的像差補償。
　　 論文首先介紹了自適應光學系統(tǒng)中變形鏡的國內外研究現(xiàn)

2、狀、變形鏡的結構和主要性能，使用影響函數(shù)的概念對變形鏡的面形進行描述，并選用有限元法確定影響函數(shù)，用ANSYS軟件對變形鏡進行了有限元分析。
　　 變形鏡總的變形量是各個促動器的影響函數(shù)綜合作用的結果，本文使用最小二乘法校正畸變波前，分別對19單元和37單元變形鏡的校正能力進行了計算分析。19單元變形鏡基本能滿足校正初級像差的要求，單元數(shù)增多后，變形鏡的校正能力顯著提高。最后利用自行制作的19單元變形鏡進行了實驗。使用干涉儀測得