原子層沉積系統(tǒng)設(shè)計(jì)及其溫度的模型預(yù)測(cè)控制研究.pdf

1、原子層沉積(ALD)是一種納米薄膜制備工藝技術(shù)，通過(guò)自限制性的前驅(qū)體交替飽和反應(yīng)來(lái)獲得厚度可控、均勻一致的薄膜，其可作為電子器件中的隔水隔氧層、晶體管柵極電介質(zhì)層和太陽(yáng)能電池的表面鈍化層等，故而ALD技術(shù)廣泛應(yīng)用于微電子、太陽(yáng)能電池、柔性電子等領(lǐng)域。溫度是影響薄膜沉積質(zhì)量和效率最重要的因素之一，而現(xiàn)有的常規(guī)控制方法在面對(duì)外界干擾條件下，溫度穩(wěn)定性較差，穩(wěn)定調(diào)整時(shí)間較長(zhǎng)，溫度波動(dòng)過(guò)大，最終直接影響沉積薄膜的微觀表面形貌。而模型預(yù)測(cè)控制(M

2、PC)能夠在外界干擾下通過(guò)滾動(dòng)優(yōu)化和輸出校正改善系統(tǒng)暫態(tài)性能，具有處理時(shí)滯、約束的能力和對(duì)數(shù)學(xué)模型要求低等特性，其在自動(dòng)控制領(lǐng)域和溫度控制領(lǐng)域得到很多成功的應(yīng)用。
　　本文以模型預(yù)測(cè)控制算法作為理論基礎(chǔ)，以時(shí)間隔離原子層沉積系統(tǒng)及空間隔離原子層沉積系統(tǒng)為研究對(duì)象，以控制兩種不同原子層沉積體系的反應(yīng)溫度為目標(biāo)，以提高薄膜沉積效率及沉積優(yōu)良納米薄膜質(zhì)量為最終目的。主要研究?jī)?nèi)容如下：
　　建立基于輻射加熱T–ALD系統(tǒng)的傳遞函數(shù)式

3、MPC模型，并引入干擾項(xiàng)和約束處理優(yōu)化CARIMA模型來(lái)滿足更為精確的模型需求和實(shí)踐應(yīng)用。此外建立基于常壓連續(xù)運(yùn)動(dòng)S–ALD系統(tǒng)的狀態(tài)空間式MPC模型，引入Kalman濾波器進(jìn)行狀態(tài)觀察和預(yù)估，以此求解最優(yōu)控制量。
　　研制傳導(dǎo)加熱原子層沉積系統(tǒng)，并提出將光譜橢圓偏振儀集成于該系統(tǒng)中，由在線原位測(cè)量薄膜厚度來(lái)揭示不同類型的薄膜生長(zhǎng)規(guī)律；由此基礎(chǔ)上改進(jìn)設(shè)計(jì)輻射加熱T–ALD薄膜制備裝置。提出基于MPC算法的T–ALD閉環(huán)溫度控制方法

4、，揭示氣流干擾、前驅(qū)體脈沖干擾和樣品裝卸載干擾條件下，基于MPC溫度控制系統(tǒng)具有良好穩(wěn)定性和魯棒性的規(guī)律。對(duì)比常規(guī)PID控制和開環(huán)控制，基于MPC溫度控制系統(tǒng)在樣品裝卸載干擾時(shí)溫度穩(wěn)定調(diào)整時(shí)間分別縮短5.8分鐘和8分鐘，就薄膜沉積工藝效率來(lái)說(shuō)，分別提高25％和35%；而在沉積薄膜表面形貌上，基于MPC溫度系統(tǒng)下的薄膜均勻一致性分別提高59%和63%。
　　提出采用模塊化噴頭結(jié)構(gòu)方法來(lái)研制常壓S–ALD薄膜制備裝置，并以此來(lái)闡明噴頭

5、尺寸參數(shù)、微間隙帶氣流、前驅(qū)體分布等對(duì)原子層沉積工藝的影響。提出基于MPC算法的S–ALD閉環(huán)溫度控制系統(tǒng)方法，揭示氣流階躍干擾、襯底運(yùn)動(dòng)干擾條件下，基于MPC控制系統(tǒng)的溫度響應(yīng)規(guī)律。對(duì)比常規(guī)PID控制，基于MPC溫度控制系統(tǒng)在沉積二元化合物薄膜時(shí)，在兩種不同的襯底運(yùn)動(dòng)方式下，溫度波動(dòng)分別降低20%和14%，并且薄膜表面微觀形貌提高30%；而在沉積層疊狀薄膜時(shí)，在襯底來(lái)回切換時(shí)，溫度穩(wěn)定調(diào)整時(shí)間分別節(jié)約67%和65%，進(jìn)而提高了層疊狀薄

6、膜制備效率。
　　利用S–ALD系統(tǒng)來(lái)制備層疊狀ZnO/TiO2薄膜，闡明層疊狀薄膜中ZnO的XRD峰值在相同薄膜厚度條件下，隨子層數(shù)量的增加而逐漸下降的現(xiàn)象，揭示出由ZnO/TiO2子層數(shù)量決定的微結(jié)構(gòu)可以改變薄膜整體的透光性和折射率的規(guī)律。
　　本文研制真空時(shí)間隔離和常壓空間隔離原子層沉積系統(tǒng)，并基于模型預(yù)測(cè)控制算法來(lái)實(shí)現(xiàn)ALD裝置的溫度控制，后續(xù)將著重研究更加高效大規(guī)模的S–ALD系統(tǒng)和面向柔性電子領(lǐng)域的卷到卷ALD系