半導(dǎo)體生產(chǎn)線動(dòng)態(tài)維護(hù)策略研究.pdf

1、半導(dǎo)體生產(chǎn)線結(jié)構(gòu)復(fù)雜，具有典型的重入特點(diǎn)，加工產(chǎn)品種類多樣，設(shè)備集成度高、造價(jià)昂貴。近年來(lái)半導(dǎo)體制造行業(yè)發(fā)展迅速，競(jìng)爭(zhēng)激烈。合理的維護(hù)策略能夠最大化設(shè)備價(jià)值，帶來(lái)較高收益，提升企業(yè)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。本文建立了設(shè)備生產(chǎn)和維護(hù)系統(tǒng)的馬爾科夫決策過(guò)程MDP（markov decision process）模型?？紤]可變的維護(hù)行為選擇和隨機(jī)的狀態(tài)轉(zhuǎn)移情況，研究半導(dǎo)體生產(chǎn)線設(shè)備的動(dòng)態(tài)維護(hù)策略，獲得使效益最大化的維護(hù)時(shí)刻和維護(hù)行為的綜合。論文將此動(dòng)態(tài)維護(hù)

2、策略應(yīng)用于一個(gè)典型的半導(dǎo)體制造過(guò)程-Mini-Fab模型，進(jìn)一步研究模型中各單元的調(diào)度規(guī)則。對(duì)生產(chǎn)加工與維護(hù)抉擇的耦合問(wèn)題進(jìn)行優(yōu)化，得到綜合最優(yōu)的動(dòng)態(tài)維護(hù)策略。
　　首先，本文介紹了研究背景及意義，從工業(yè)界和學(xué)術(shù)界兩方面分析國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀，詳述研究?jī)?nèi)容和理論框架。
　　其次，闡述了關(guān)于可靠性分析和維護(hù)研究的相關(guān)理論，以及生產(chǎn)調(diào)度的種類與判斷指標(biāo)，為后續(xù)研究提供理論支持。
　　然后，在考慮可變的維護(hù)行為選擇和隨機(jī)的狀態(tài)轉(zhuǎn)

3、移概率的情況下，建立了基于MDP模型的半導(dǎo)體設(shè)備動(dòng)態(tài)維護(hù)策略的數(shù)學(xué)模型。以MDP模型模擬設(shè)備維護(hù)過(guò)程中狀態(tài)轉(zhuǎn)移情況，以設(shè)備效益作為目標(biāo)函數(shù)，獲得關(guān)于維護(hù)時(shí)刻和行為的綜合方案?；谒?shù)學(xué)模型的特點(diǎn)，引入帶遺傳交叉因子的粒子群算法求解，最終獲得最優(yōu)化動(dòng)態(tài)維護(hù)策略。
　　最后，將動(dòng)態(tài)維護(hù)策略應(yīng)用于Mini-Fab模型，并且進(jìn)一步考慮系統(tǒng)生產(chǎn)加工過(guò)程，研究維護(hù)與加工沖突時(shí)的聯(lián)合抉擇問(wèn)題和系統(tǒng)各單元的最佳調(diào)度規(guī)則，從而獲得生產(chǎn)調(diào)度和動(dòng)態(tài)