面向納米材料操控的鎢針制備系統(tǒng)與工藝研究.pdf

1、納米操控系統(tǒng)末端執(zhí)行工具的表面形態(tài)和特性是影響納米操作精度的重要因素。隨著納米科技的快速發(fā)展，制備高性能的末端執(zhí)行工具成為納米操控技術(shù)的研究熱點之一。納米探針是最常用的納米操作末端執(zhí)行工具，常用的制備方法有研磨法、剪切法、超高真空場離子顯微鏡、電化學(xué)腐蝕法等，其中電化學(xué)腐蝕法因設(shè)備簡單、重復(fù)性好、成本低廉等優(yōu)點而備受青睞。本文以制備適用于納米材料操作的大長徑比鎢探針為目的，設(shè)計一套基于動態(tài)電化學(xué)腐蝕法的鎢探針制備系統(tǒng)并進行工藝分析。主要

2、研究內(nèi)容如下：
　?。?）針對納米操作的特點及要求，提出了動態(tài)電化學(xué)腐蝕的大長徑比鎢探針制備方法，分析了探針幾何成型機理與關(guān)鍵工藝因素，確定了大長徑比鎢探針制備流程。
　?。?）設(shè)計了一套基于電化學(xué)腐蝕法的全自動化大長徑比鎢探針制備裝置，包含機械位移裝置，電控系統(tǒng)以及用戶終端程序。鎢絲垂直位移范圍可達(dá)60mm，腐蝕電壓在2~12V之間可調(diào)，針尖形成后腐蝕電壓斷電時間在10μs以內(nèi)。
　　（3）分析了閾值電壓、KOH溶液