壓電半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)中的幾類典型導(dǎo)波.pdf

1、隨著微機(jī)電技術(shù)的發(fā)展，具有機(jī)電耦合特性和半導(dǎo)體特性的壓電半導(dǎo)體材料備受關(guān)注，以ZnO為代表的具有半導(dǎo)體特性的壓電材料可被用于新型微機(jī)電聲波器件中。本論文基于彈性動(dòng)力學(xué)基本理論，考慮壓電效應(yīng)、半導(dǎo)體特性和偏置電場(chǎng)等耦合作用，對(duì)壓電半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)中傳播的幾類典型導(dǎo)波進(jìn)行了建模分析、理論計(jì)算和數(shù)據(jù)分析，主要內(nèi)容分為兩個(gè)方面：
　　（1）分析討論了橫觀各向同性壓電半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)中的幾類典型導(dǎo)波的傳播特性問題。基于本構(gòu)方程、位移與應(yīng)變關(guān)系和場(chǎng)控制方

2、程建立了由位移函數(shù)、電勢(shì)函數(shù)以及擾動(dòng)載流子濃度函數(shù)表示的場(chǎng)控制偏微分方程組?？紤]應(yīng)力自由和電學(xué)連續(xù)性邊界條件，得到導(dǎo)波的波速和波數(shù)之間的解析方程。
　　（2）基于上述的解析模型，分析了典型壓電半導(dǎo)體半空間結(jié)構(gòu)中的廣義Rayleigh波以及壓電半導(dǎo)體板中SH波和Lamb波等幾類典型導(dǎo)波的傳播特性問題。研究發(fā)現(xiàn)：廣義 Rayleigh波可以在壓電半導(dǎo)體半空間中傳播，半導(dǎo)體特性導(dǎo)致了波的頻散，S H波和Lam b波同樣可以在壓電半導(dǎo)體板