2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
已閱讀1頁,還剩70頁未讀 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權,請進行舉報或認領

文檔簡介

1、隨著集成電路特征尺寸不斷減小,電阻電容(RC)延遲成為制約集成電路發(fā)展的主要瓶頸。為了降低RC延遲,提高器件的反應速度,銅由于其優(yōu)良的導電性和抗電遷移能力取代鋁,成為第二代互連材料。然而,超薄阻擋層良好臺階覆蓋率卻是集成電路工藝的巨大挑戰(zhàn);此外,擴散阻擋層減少了互連線中銅的有效橫截面面積,導致互連系統(tǒng)電阻率增加。因此,考慮去除擴散阻擋層是非常有必要的。合金化的方法由于可以改善薄膜的性能,解決上述問題,得到很大重視。進行銅金屬化基礎理論研

2、究,對于優(yōu)化銅互連性能、提高銅互連可靠性和超大規(guī)模集成電路系統(tǒng)的產(chǎn)量具有極其重要的意義。
  在本研究中,主要探討了銅合金薄膜的性能及其在集成電路互連材料上的應用。純Cu和兩種不同濃度的Cu(Ti)、Cu(Cr)薄膜采用直流磁控濺射的方法沉積在SiO2/Si襯底。然后在真空度為2×10-4Pa條件下進行300℃~700℃的熱處理。對熱處理過的樣品采用四探針、X射線衍射儀(XRD)、X射線光電子能譜(XPS)、掃描電子顯微鏡(SEM

3、)、透射電子顯微鏡(TEM)和半導體分析儀(Keithley2400)進行觀察和測量。
  實驗結果表明,直接在SiO2襯底上沉積純銅薄膜,500℃退火后就發(fā)生明顯失效,薄膜的穩(wěn)定性和電學特性較差。
  對于 Cu(Ti)/SiO2合金薄膜體系,其穩(wěn)定性和電學特性得到了一定改善。退火后 Ti原子向外擴散到自由表面和銅合金/二氧化硅交界面,并在Cu(5.4at.%Ti)薄膜和SiO2界面間形成一層7nm的阻擋層。但仍有大量Ti

4、原子殘留在銅膜中,這導致Cu(1.6at.%Ti)薄膜與SiO2間無連續(xù)阻擋層生成,膜基結合性差。Cu(1.6at.%Ti)薄膜退火到700℃后檢測到Cu3Si,說明此時薄膜中已發(fā)生擴散反應。由于薄膜中含Ti量較高,對銅膜的附加電阻增加,退火后電阻并沒有達到期望值。Cu(1.6at.%Ti)電極 MOS小時退火態(tài)漏電流比1小時退火態(tài)漏電流增加一個數(shù)量級,說明其穩(wěn)定性較差,而Cu(5.4at.%Ti)電極MOS漏電流可以幾乎保持不變。

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論