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1、1附錄 A(規(guī)范性)多晶硅生產(chǎn)火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)A.1 火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)多晶硅生產(chǎn)中危險(xiǎn)化學(xué)品的火災(zāi)危險(xiǎn)性應(yīng)符合 GB 50016 的規(guī)定,可燃危險(xiǎn)化學(xué)品的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)表見(jiàn)表 A.1。表 A.1 可燃危險(xiǎn)化學(xué)品的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)表爆炸極限(V/V)序號(hào) 危險(xiǎn)化學(xué)品名稱危險(xiǎn)類(lèi)別閃點(diǎn)℃自燃點(diǎn)℃ 下限 上限火災(zāi)危險(xiǎn)類(lèi)別1 硅粉(非晶形的)易燃固體類(lèi)別 2—— 775 160mg/m3 —— 乙類(lèi)2 氫氣易燃?xì)怏w類(lèi)別 1——500-5714.1
2、75 甲類(lèi)3 三氯氫硅自燃液體類(lèi)別 1-28 185 1.2 90.5 甲類(lèi)4 二氯二氫硅易燃?xì)怏w類(lèi)別 1-55 41-47 4.1 96.0 甲類(lèi)注:二氯二氫硅在潮濕空氣中,會(huì)發(fā)生局部放熱反應(yīng),實(shí)際發(fā)生閃爆的環(huán)境溫度往往大大低于該自燃點(diǎn),這是多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中最危險(xiǎn)的物質(zhì)之一。A.2 多晶硅生產(chǎn)裝置火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)A.2.1 制氫裝置、氯化氫合成裝置、三氯氫硅合成裝置、氯硅烷分離與提純裝置、三氯氫硅還原裝置、還原尾氣干法回收裝置、四氯化
3、硅氫化裝置、氫氣罐區(qū)、氯硅烷罐區(qū)的火災(zāi)類(lèi)別為甲類(lèi)易燃易爆作業(yè)場(chǎng)所。A.3 爆炸性環(huán)境危險(xiǎn)區(qū)域劃分A.3.1 爆炸性氣體環(huán)境危險(xiǎn)區(qū)域按照 GB 50058 的規(guī)定劃分。A.3.2 爆炸性粉塵環(huán)境危險(xiǎn)區(qū)域按照 GB 50058 的規(guī)定劃分。3嚴(yán)重眼損傷/眼刺激,類(lèi)別 2特異性靶器官毒性-一次接觸,類(lèi)別 3(呼吸道刺激)危害水生環(huán)境-急性危害,類(lèi)別 17 氫氣 易燃?xì)怏w,類(lèi)別 1加壓氣體窒息 —— —— —— ——8 三氯氫硅自燃液體,類(lèi)別
4、1皮膚腐蝕/刺激,類(lèi)別 1A嚴(yán)重眼損傷/眼刺激,類(lèi)別 1特異性靶器官毒性-一次接觸,類(lèi)別 3(呼吸道刺激)中毒、灼傷 Ⅲ 3 —— ——9 二氯二氫硅易燃?xì)怏w,類(lèi)別 1加壓氣體急性毒性-吸入,類(lèi)別 2皮膚腐蝕/刺激,類(lèi)別 1嚴(yán)重眼損傷/眼刺激,類(lèi)別 1特異性靶器官毒性-一次接觸,類(lèi)別 2中毒、灼傷 Ⅲ —— —— ——10 四氯化硅皮膚腐蝕/刺激,類(lèi)別 2嚴(yán)重眼損傷/眼刺激,類(lèi)別 2特異性靶器官毒性-一次接觸,類(lèi)別 3(呼吸道刺激)中毒
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