知識(shí)驅(qū)動(dòng)下集成電路光刻工藝智能設(shè)計(jì)方法研究.pdf

1、在當(dāng)今以信息和知識(shí)為主導(dǎo)的“知識(shí)經(jīng)濟(jì)”時(shí)代中，知識(shí)的繼承、集成、管理乃至創(chuàng)新是各領(lǐng)域迫切需要解決的問(wèn)題。知識(shí)驅(qū)動(dòng)下的產(chǎn)品設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)，已受到越來(lái)越多的關(guān)注。集成電路工藝開(kāi)發(fā)過(guò)程中具有工藝路線(xiàn)長(zhǎng)、工藝過(guò)程高度復(fù)雜以及工藝設(shè)計(jì)與環(huán)境經(jīng)驗(yàn)相關(guān)的特點(diǎn)?，F(xiàn)有的集成電路工藝設(shè)計(jì)存在著知識(shí)總結(jié)難、問(wèn)題求解難、知識(shí)重用難等尚未解決的難題，因此開(kāi)發(fā)智能化的集成電路設(shè)計(jì)平臺(tái)成為當(dāng)前集成電路工藝設(shè)計(jì)的迫切要求。隨著集成電路設(shè)計(jì)行業(yè)的迅速發(fā)展，如何開(kāi)發(fā)集成電路工藝

2、設(shè)計(jì)的智能化系統(tǒng)、提高對(duì)制造周期的快速反應(yīng)能力、提高集成電路設(shè)計(jì)效率和設(shè)計(jì)過(guò)程的自動(dòng)化水平成為制約集成電路工藝設(shè)計(jì)需要迫切解決的問(wèn)題。本文從人工智能算法在集成電路工藝設(shè)計(jì)上的應(yīng)用角度出發(fā)，將知識(shí)工程技術(shù)引入集成電路工藝設(shè)計(jì)過(guò)程中，以集成電路光刻工藝設(shè)計(jì)為例進(jìn)行了系統(tǒng)地討論和研究，提出了知識(shí)驅(qū)動(dòng)下的集成電路光刻工藝智能設(shè)計(jì)方法。基于此提出了集成電路光刻工藝知識(shí)模型及構(gòu)建方法，搭建了集成電路光刻工藝實(shí)例庫(kù)及實(shí)例知識(shí)沖突消解方法，提出了時(shí)序型

3、集成電路光刻工藝智能匹配算法和集成電路光刻工藝方案設(shè)計(jì)和評(píng)價(jià)方法，實(shí)現(xiàn)了知識(shí)驅(qū)動(dòng)下集成電路光刻工藝流程智能設(shè)計(jì)。
　　本論文通過(guò)研究集成電路光刻工藝知識(shí)的特點(diǎn)，采用知識(shí)工程相關(guān)技術(shù)和方法，提出了知識(shí)驅(qū)動(dòng)下的集成電路光刻工藝智能設(shè)計(jì)方法以實(shí)現(xiàn)已有工藝實(shí)例對(duì)集成電路光刻工藝設(shè)計(jì)活動(dòng)的智能支持。本論文主要的研究?jī)?nèi)容如下：
　　1.提出了集成電路光刻工藝實(shí)例知識(shí)建模和知識(shí)獲取方法
　　對(duì)集成電路光刻工藝實(shí)例知識(shí)進(jìn)行系統(tǒng)研究，將

4、光刻工藝設(shè)計(jì)知識(shí)進(jìn)行分類(lèi)并采用結(jié)構(gòu)化的面向?qū)ο蟮闹R(shí)表示方法對(duì)光刻工藝實(shí)例知識(shí)進(jìn)行一致性表示。集成電路光刻工藝實(shí)例知識(shí)獲取為設(shè)計(jì)端和生產(chǎn)制造端兩個(gè)過(guò)程，設(shè)計(jì)端通過(guò)采集已有的設(shè)計(jì)實(shí)例進(jìn)行，生產(chǎn)制造端通過(guò)光刻工藝相關(guān)設(shè)備信息采集來(lái)實(shí)現(xiàn)，最終完成設(shè)計(jì)端和生產(chǎn)制造端的閉環(huán)，為進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)光刻工藝智能設(shè)計(jì)過(guò)程奠定基礎(chǔ)。
　　2.提出了面向光刻工藝實(shí)例知識(shí)庫(kù)中多源異構(gòu)實(shí)例知識(shí)的沖突消解方法
　　為了解決光刻工藝實(shí)例知識(shí)庫(kù)中多源異構(gòu)實(shí)例知識(shí)

5、的語(yǔ)義融合問(wèn)題，構(gòu)建了多源異構(gòu)知識(shí)融合方法和框架。按照工藝實(shí)例知識(shí)構(gòu)成要素將沖突劃分為術(shù)語(yǔ)沖突、謂詞沖突、數(shù)量短語(yǔ)沖突和關(guān)系沖突，并提出了沖突消解的邏輯樹(shù)融合法、頻率融合法、特選融合法、約束融合法和關(guān)系融合法。
　　3.提出了時(shí)序型集成電路光刻工藝智能匹配算法和集成電路光刻工藝方案智能設(shè)計(jì)方法
　　針對(duì)集成電路光刻工藝各工步在加工過(guò)程順序相關(guān)并存在相互制約的問(wèn)題的特點(diǎn)，通過(guò)對(duì)光刻工藝各階段的相關(guān)性和協(xié)同性進(jìn)行系統(tǒng)研究，提出了

6、時(shí)序型集成電路光刻工藝智能匹配算法，將一組集成電路光刻工藝實(shí)例中具有相似關(guān)系的實(shí)例歸為一類(lèi)，實(shí)現(xiàn)了具有相似關(guān)系的集成電路實(shí)例的聚類(lèi)，為設(shè)計(jì)過(guò)程提供參考方案。在光刻工藝實(shí)例知識(shí)聚類(lèi)分析的基礎(chǔ)上，以獲取的光刻工藝實(shí)例知識(shí)為基礎(chǔ)，以設(shè)計(jì)需求為導(dǎo)向，以基于人工智能算法的設(shè)計(jì)綜合方法為工具，實(shí)現(xiàn)了光刻工藝方案的智能設(shè)計(jì)并對(duì)其進(jìn)行模糊評(píng)價(jià)，獲得合理的滿(mǎn)足新設(shè)計(jì)需求的光刻工藝方案進(jìn)行輸出。
　　4.系統(tǒng)開(kāi)發(fā)及實(shí)例分析。開(kāi)發(fā)了集成電路光刻工藝實(shí)例