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1、YT 8 4 2 0 1論文編號(hào):—H B L G0 5 —- - - 0 0 8 8密 級(jí)河北理工大學(xué)碩士學(xué)位論文熔鹽法沉積S i 及制備F e 。6 .5 w t %S i 薄板研究作者姓名:鋈盤蘊(yùn)專業(yè)名稱z 造金物理絲堂 研究方向:塹盟抖型圣學(xué)習(xí)單位:塑韭矍墨叁莖 學(xué)習(xí)時(shí)間:2 :5 生 提變?nèi)掌冢簤|豎笙Q ≥目2 5 旦申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:l :坐亟圭導(dǎo)師姓名:奎重型墼蕉 單位:扭絲堡三盤鱟論文評(píng)闋人:塞垂疊塾絲 單位:塑韭壟三盤生璺
2、叢塹整攮 單位:! &盞登墊盤莖論文答辯日期:2 Q 逝壘堡目煦旦 答辯委員會(huì)主席;型堡壘壺.L資助基金項(xiàng)目:河北省自然基金資助項(xiàng)目( )關(guān) 鍵 詞:S i ;熔鹽電沉積;F e 一6 .5 %S i 薄板:制備河北理工大學(xué)研究生學(xué)院2 0 0 5 年4 月河北理f ‘大學(xué)碩十學(xué)位論文A b s t r a c tT h i st e x ts t u d i e dac h e a p m o l t e ns a l t sf o
3、rp r e p a r a t i o no fs i l i c o n ,c o m p a r e d w i t hs o m eo t h e r w a y sf o r p r e p a r a t i o n o f s i l i c o n ,a n dc o n c l u d e dt h a tF C I N a K ·S i 0 2m o l t e ns a l t si sc h e a p
4、 ,c a l lb e u s e d ,u s e f u lf o re n v i r o n m e n tp r o t e c t i o n a n d S Oo n .T h e m e l t i n g p o i n to ft h i s m o l t e n s a l t s s y s t e m i s s t u d i e d i n d i c a t e t h a t f o l l o w
5、 e d t h ei n c r e a s i n g o f S i 0 2 ,t h em e l t i n gp o i n t o f F C I N a K —S i 0 2m o l t e ns a l t s ,i n i t i a l s t a g ei t i n c r e a s i n ga n d w h e nS i 0 2r i s et o5 %,g e ta p e a k .;t h e
6、nd e s c e n da n dw h e n S i 0 2 r i s et o7 %,g e ta v a l l e y ;f o l l o w e dt h e i n c r e a s i n g o f S i 0 2 ,t h em e l t i n g p o i n t w i l lg r a d u a li n c r e a s i n g .S oS i 0 2 b ec h o s e a t
7、7 %.A ts a m e t i m e .s i l i c o nC a n b ee l e c t r o d e p o s e do ns i l i c o ns t e e la n d m o l y b d e n u m .S i l i c o n b ee l e c t r o d e p o s e di nt h i sm e l t ss y s t e mC a ng e tg o o d e f
8、 f e c to f d e p o s i t i o na n d c o s tv e r yl o w ,a n du s e f u l f o re n v i r o R m e n t p r o t e c t i o n .T h e t e c h n o l o g i c a lp a r a m e t e r so f s i l i c o ne l e c t r o d e p o s i t i
9、o nw e r es t u d i e di n t h eF C l N a K -S i 0 2 m o l t e ns a l t s 。T h e m e t a l l u r g i c a l s t r u c t u r e s o ft h e s i l i c o nc o a t i n gw e r e s h o w n b yt h em e t a l l u r g i c a lm i c r
10、 o s c o p ea n ds c a n n i n ge l e c t r o n m i c r o s c o p e .T h eo p t i m u m c o m p o s i t i o na n dt e m p e r a t u r ew e r ed e t e r m i n e da s f o l l o w s :t h ec o n c e n 2 a t i o no f S i 0 2w
11、 a s6 - 1 2 m 0 1 %;a n dt h et e m p e r a t u r eW a Sa b o u t7 0 0 ℃,i = 6 0m A /c m 2 .At h i c k e rs i l i c o n c o a t i n g a b o u t8 - I 6 0 p mi nt h i c k n e s sw a s o b t m n e d b y p u l s i n g c u r
12、r e n tc o m p a r e d w i t hd i r e c tc t n - r e n t d e p o s i t i o n .T h e c o n d i t i o n so f t h ea n n e a l i n g d i f f u s i o na n d s i l i c o n i z i n gw e r eg i v e n b yp r e p a r a t i o no f
13、F e .6 .5 w t %S i s h e e t .T h e F e - 6 .5 w t %S i s h e e t w e r e p r e p a r e d f r o m F e 一3 w t %S i s h e e t b ya n n e a l i n g d i f f u s i o n t r e a t m e n ti n 1 0 5 0 ℃.F i g u r e2 7 t a b l e18
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