x射線光刻制作0.1微米級phemtt型柵

1、天津大學(xué)碩士學(xué)位論文X射線光刻制作0.1微米級PHEMT T型柵姓名：孫加興申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：微電子與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師：申云琴;葉甜春2001.12.1天津大學(xué)碩士學(xué)位論文一——————————————————————_ _ —————————————————_ ———————————————- ————_ ————————————————————_ ——～A b s t r a c tM i c r o e l e c t r

2、 o n i c s i n d u s t r y i s b e c o m i n g m o r e a n d m o r e i m p o r t a n t i n t h i si n f o r m a t i o n a ls o c i e t y ．B u tn o w i th a s t oa f f r o n t w i t h m a n y c h a l l e n g e sa si td e

3、v e l o p si n“M o o r el a w ”．A sw e a l lk n o w ，N G L ( n e x t g e n e r a t i o n l i t h o g r a p h y ) i sd i s c u s s e dw i d e l yn o w ．O p t i c a ll i t h o g r a p h yh a sc r e a t e dm a n yf a b l e

4、s a s am a i nl i t h o g r a p h yt e c h n o l o g yw i t h o n e a n d o n e l i m i t sb r e a c h e d ．B u t n o w i ti sc h N l e n g e d b y N G L a b o v e s u s p i c i o n ．X ·r a y l i t h o g r a p h y i

5、 s d e v e l o p i n gv e r y f a s t a s o n eo fN G L ．A l t h o u g ht h e r e a r em a n y t e c h n o l o g y d i f f i c u l t i e si nX R L ，i t i sn o t f a rw i t h a p p l i c a t i o n ．X R L h a sb e e nr e s

6、 e a r c h e di nM E C C A S o f C h i n a f o ra b o u t t e ny e a r s ．D u r i n gt h ep e r i o d ， o u r N a n e n g i n e e r i n g g r o u p h a s a c h i e v e d a s e r i e s o fp r o d u c t i o n ．T h ef a b r

7、 i c a t i o n o f 0 ．1 9 m T - g a t eo f P H E M T i so n e o f t h e m ．C o m p o u n ds e m i c o n d u c t o ri s u s e dw i d e l yl i a l e b yl i t t l e b e c a u s eo f i t s p e r f e c tc a p a b i l i t y ，S

8、 O s o m en e wc o m p o u n ds e m i c o n d u c t o re l e m e n t si n c l u d i n gP H E M Ta p p e a r ．T h eb a de f f e c t o fg a t e r e s i s t a n c e o fP H E M Tb e c o m en o t i c e a b l e i n h i 曲f r e

9、q u e n c y a p p l i c a t i o n ，S O T - s h a p e d g a t ei sf a b r i c a t e dt od e g r a d e g a t e r e s i s t a n c e ．F a b r i c a t i o no f 0I B m T —g a t eo f P H E M T i so n e o f d i f f i c u l tp r

10、o b l e m s i nt h ew o r l d ．O n t h eo n eh a n df a b r i c a t i o ne f f i c i e n c yi s l o w ， o nt h eo t h e rh a n dt h e r ea r em a n yt e c h n o l o g y d i f f i c u l t i e s ．W e s o l v e t h e s ep r

11、 o b l e m s b yu s i n g X - r a y l i t h o g r a p h y t of a b r i c a t e O ．1g m T —g a t eo f P H E M T ．F o l l o w i n g i st h em a i n t o p i c si nt h e t h e s i s ：1 ) T h e d e v e l o p i n g t r e n da

12、n d c h a l l e n g e i no p t i c a ll i t h o g r a p h y a r ei n t r o d u c e di nd e t a i l s2 ) A l lk i n d s o f N G L a r ed i s c u s s e da n d c o m p a r e d3 ) T h e s t a t u sq u ot r e n da n d c h a l

13、 l e n g ei nX —r a yl i t h o g r a p h ya r ei n t r o d u c e di nd e t a i l s ， a n dt h e X —r a y l i t h o g r a p h y r e s e a r c h c i r c s i n o u r c o u n t r y i si n t r o d u c e dt O O ．4 ) T h e g a