3.1～3.4ghz45ws波段硅微波脈沖功率晶體管研制

1、西安電子科技大學碩士學位論文3.1～3.4GHz 45W S波段硅微波脈沖功率晶體管研制姓名：鄧建國申請學位級別：碩士專業(yè)：電子與通信工程指導教師：楊銀堂;劉英坤20090401摘要A b s t r a c tI nt h i st h e s i s ，t h ef a c t o r sw h i c h h a v ea l l i m p o r t a n t e f f e c to nt h ef r e q u e n

2、 c yp o w e r , a n dr e l i a b i l i t yo f t h e s i l i c o n m i c r o w a v e p o w e rt r a n s i s t o rw e r ea n a l y z e d ．T h ep a r a m e t e r s o ft h eS —b a n d s i l i c o nm i c r o w a v ep o w e r

3、t r a n s i s t o rw h i c hh a s a l l o u t p u tp o w e r o f4 5 W w e r es t u d i e da n dd e s i g n e d ．A n da l s ot h ek e y p r o c e s s e sw h i c h h a v e a ni m p o r t a n te f f e c to n t h em a n u f

4、a c t u r e o f t h e s i l i c o nm i c r o w a v ep o w e r t r a n s i s t o r w e r e e x p e r i m e n t e d a n d o p t i m i z e d ．w i t h t h e e q u i —p l a n a r a n d s e l f - a l i g n e dt e c h n o l o g

5、 y , t h ed o u b l ec p i - l a y e r s ，a n dt h ei n t e r n a lm a t c h i n g t e c h n o l o g y , ag o o dp e r f o r m a n c e ，h i g hr e l i a b i l i t yd e v i c e w a s r e a l i z e d ．T h r o u g ht h e d

6、e s i g na n do p t i m i z a t i o n ，ah i g hg a i n ，h i g hc o l l e c t o re f f i c i e n c ya n dh i g hs t a b i l i t yS - b a n d s i l i c o n m i c r o w a v ep u l s e d p o w e rt r a n s i s t o r W a sm a

7、 n u f a c t u r e ds u c c e s s f u l l y ．U n d e rt h ec o n d i t i o n so f3 ．I ～3 ．4 G H z ，9 W i n p u tp o w e r ，5 0 0 p sp u l s ew i d t h ，1 0 ％d u t yc y c l e ，a n dV c c = 3 2 Vo p e r a t i o n ，t h ep e

8、 r f o r m a n c e o f 5 0 W o u t p u tp o w e r , 7 ．4 d Bp o w e r g a i n ，3 6 ％c o l l e c t o r e f f i c i e n c y , g a i nf l a 協(xié)e s s l e s st h a n 1 ．0d Bw a sr e a l i z e d ．L e s st h a n + O ．9 d Bd e l t

9、 a o u t p u t - p o w e ru n d e rt h eld Bo v e rd r i v e ，l e s st h a n 0 ．8 d Bp u l s ed r o o p ，l e s st h a n 一6 5 d B ca n d - 2 5 d B cm i x e d —w a v ea n ds e c o n d a r y - h a r m o n i o u s —w a v er

10、e s t r a i n i n g d e g r e e r e s p e c t i v e l y ，b o t h l e s s t h a n 1 0 0 n sp u l s er i s e a n df a l l t i m e ，3 ：1 l o a d m i s m a t c ht o l e r a n c e ( V S W R - T ) o ft h e d e v i c e w e r er

11、 e a c h e d ．T h ed e v i c ec a l lf u l l y m e e t t h ed e m a n d f o rt h ep r o j e c t ．K e y w o r d ：S i l i c o n ，M i c r o w a v e p u l s e dp o w e r t r a n s i s t o r ，e q u i - p l a n a ra n ds e l f