hgt 4509-2013 工業(yè)高純氫氟酸

1、ICS7106030G11備案號：41827—2013HG中華人民共和國化工行業(yè)標準HG／T4509—2013工業(yè)高純氫氟酸Highpurityhydrofluoricacidforindustrialuse2013—10—17發(fā)布201403—01實施中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布工業(yè)高純氫氟酸HG／T45∞一20131范圍本標準規(guī)定了工業(yè)高純氫氟酸的分級，要求，試驗方法，檢驗規(guī)則，標志、標簽，包裝、運輸和貯存及安全。本標準適用于工

2、業(yè)高純氫氟酸。該產品主要應用于太陽能光伏電池、液晶顯示器件、集成電路和超大規(guī)模集成電路芯片的清洗、蝕刻，以及作為生產其他高純氟化物的原料等。2規(guī)范性引用文件下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅所注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB190危險貨物包裝標志GB／T1912008包裝儲運圖示標志GB／T6678化工產品采樣總則GB／T6680液體化工產品采

3、樣通則GB／T66822008分析實驗室用水規(guī)格和試驗方法GB／T8170數值修約規(guī)則與極限數值的表示和判定HG／T36961無機化工產品化學分析用標準溶液、制劑及制品的制備第1部分：標準滴定溶液的制備HG／T36962無機化工產品化學分析用標準溶液、制劑及制品的制備第2部分：雜質標準溶液的制備HG／T36963無機化工產品化學分析用標準溶液、制劑及制品的制備第3部分：制劑及制品的制備3分子式和相對分子質量分子式；HF相對分子質量：20

4、01(按2011年國際相對原子質量)4分級工業(yè)高純氫氟酸按用途分為四個等級。EL級：主要用于太陽能光伏電池及液晶顯示器件的制造，以及作為生產其他高純氟化物的原料UP級：主要用于線寬為08pm～12pm集成電路的清洗與蝕刻；uPs級：主要用于線寬為02pm～06pm集成電路的清洗與蝕刻；UP—SS級：主要用于線寬為009um～0，2pm集成電路的清洗與蝕刻。5要求51外觀：無色透明液體。52工業(yè)高純氫氟酸按本標準規(guī)定的試驗方法檢測應符合表