hbsw-cob-wi054 離子風(fēng)槍作業(yè)指導(dǎo)書(shū)a1

1、離子風(fēng)槍作業(yè)指導(dǎo)書(shū)適用產(chǎn)品型號(hào)：COBCOB系列通用工序定義：上工序：無(wú)下工序：無(wú)文件編號(hào)：HBSWCOBWI054標(biāo)準(zhǔn)工時(shí)：15S15S圖示說(shuō)明操作說(shuō)明物料、輔料名稱(chēng)用量一、作業(yè)前準(zhǔn)備：項(xiàng)次名稱(chēng)料號(hào)用量1.設(shè)備清潔，確保設(shè)備表面及臺(tái)面整潔，2.使用前確認(rèn)氣壓是否干凈（不允許含有臟污，水份）等；吹出來(lái)的產(chǎn)品Die表面臟污多說(shuō)明氣壓不干凈，不可使用設(shè)備工、治具3.作業(yè)時(shí)需帶靜電手環(huán)，檢查高效過(guò)濾器有無(wú)異常；項(xiàng)次名稱(chēng)數(shù)量1離子風(fēng)槍1二、作業(yè)

2、步驟：1.打開(kāi)離子風(fēng)槍電源開(kāi)關(guān)，2.準(zhǔn)備好的晶圓產(chǎn)品，用左手從料盒里拿出，產(chǎn)品從上往下依次作業(yè)（圖一)；工藝參數(shù)3.右手握住離子風(fēng)槍?zhuān)醋‰x子開(kāi)關(guān)后，紅色指示燈亮?xí)W一下（離子風(fēng)正常），按照產(chǎn)品垂直方向斜80度作業(yè)，離子風(fēng)槍對(duì)準(zhǔn)產(chǎn)品方向左右來(lái)回三次，上下來(lái)回二次，離子風(fēng)槍口離產(chǎn)品1020CM內(nèi)作業(yè)（圖二，圖三，完成時(shí)間8秒；4.確認(rèn)第一片作業(yè)完后，在顯微鏡下檢查Die表面有無(wú)臟污臟點(diǎn)作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)5.按照流程每片產(chǎn)品重復(fù)以上作業(yè)，檢驗(yàn)合格后方

3、可流入下一工序去除晶圓表面移動(dòng)臟污、微小顆粒（圖三）6.離子風(fēng)吹半成品，重復(fù)3步驟完成作業(yè)（圖四）；去除底座表面移動(dòng)臟污（圖四）7.離子風(fēng)吹鏡頭使用吹鏡頭治具左手按住鏡頭治具重復(fù)步驟3完成作業(yè)(圖五)去除鏡頭螺紋臟污和表面臟污（圖五）8.離子風(fēng)吹FF底座連體馬達(dá)使用吹鏡頭治具左手握住治具重復(fù)步驟3作業(yè)手去除底座馬達(dá)鏡頭表面臟污（圖六）法完成作業(yè)(圖六).三、注意事項(xiàng)：修訂發(fā)布記錄1.放取產(chǎn)品時(shí)需輕拿輕放；版次修訂發(fā)布摘要日期2.檢查設(shè)備

4、有無(wú)異常，高效過(guò)濾器出現(xiàn)發(fā)黃或變色，需更換過(guò)濾器A0初次發(fā)布201311233.使用完風(fēng)槍后要放到桌面指定的位置，防止風(fēng)槍掉到地面摔壞.A1增加鏡頭離子風(fēng)作業(yè)2014410審批欄：編制：審核：批準(zhǔn)：生效日期：20144102014410頁(yè)碼：111圖一離子風(fēng)槍圖二離子風(fēng)槍開(kāi)關(guān)圖三晶圓作業(yè)手法圖五鏡頭作業(yè)手法圖六FF馬達(dá)作業(yè)手法高效過(guò)濾器圖四半成品作業(yè)手法離子風(fēng)槍作業(yè)指導(dǎo)書(shū)適用產(chǎn)品型號(hào)：COBCOB系列通用工序定義：上工序：無(wú)下工序：無(wú)文

5、件編號(hào)：HBSWCOBWI054標(biāo)準(zhǔn)工時(shí)：15S15S圖示說(shuō)明操作說(shuō)明物料、輔料名稱(chēng)用量一、作業(yè)前準(zhǔn)備：項(xiàng)次名稱(chēng)料號(hào)用量1.設(shè)備清潔，確保設(shè)備表面及臺(tái)面整潔，2.使用前確認(rèn)氣壓是否干凈（不允許含有臟污，水份）等；吹出來(lái)的產(chǎn)品Die表面臟污多說(shuō)明氣壓不干凈，不可使用設(shè)備工、治具3.作業(yè)時(shí)需帶靜電手環(huán)，檢查高效過(guò)濾器有無(wú)異常；項(xiàng)次名稱(chēng)數(shù)量1離子風(fēng)槍1二、作業(yè)步驟：1.打開(kāi)離子風(fēng)槍電源開(kāi)關(guān)，2.準(zhǔn)備好的晶圓產(chǎn)品，用左手從料盒里拿出，產(chǎn)品從上往

6、下依次作業(yè)（圖一)；工藝參數(shù)3.右手握住離子風(fēng)槍?zhuān)醋‰x子開(kāi)關(guān)后，紅色指示燈亮?xí)W一下（離子風(fēng)正常），按照產(chǎn)品垂直方向斜80度作業(yè)，離子風(fēng)槍對(duì)準(zhǔn)產(chǎn)品方向左右來(lái)回三次，上下來(lái)回二次，離子風(fēng)槍口離產(chǎn)品1020CM內(nèi)作業(yè)（圖二，圖三，完成時(shí)間8秒；4.確認(rèn)第一片作業(yè)完后，在顯微鏡下檢查Die表面有無(wú)臟污臟點(diǎn)作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)5.按照流程每片產(chǎn)品重復(fù)以上作業(yè)，檢驗(yàn)合格后方可流入下一工序去除晶圓表面移動(dòng)臟污、微小顆粒（圖三）6.離子風(fēng)吹半成品，重復(fù)3步驟完

7、成作業(yè)（圖四）；去除底座表面移動(dòng)臟污（圖四）7.離子風(fēng)吹鏡頭使用吹鏡頭治具左手按住鏡頭治具重復(fù)步驟3完成作業(yè)(圖五)去除鏡頭螺紋臟污和表面臟污（圖五）8.離子風(fēng)吹FF底座連體馬達(dá)使用吹鏡頭治具左手握住治具重復(fù)步驟3作業(yè)手去除底座馬達(dá)鏡頭表面臟污（圖六）法完成作業(yè)(圖六).三、注意事項(xiàng)：修訂發(fā)布記錄1.放取產(chǎn)品時(shí)需輕拿輕放；版次修訂發(fā)布摘要日期2.檢查設(shè)備有無(wú)異常，高效過(guò)濾器出現(xiàn)發(fā)黃或變色，需更換過(guò)濾器A0初次發(fā)布201311233.使用