液晶面板制造裝置的銷售額比上增加58%,達(dá)130億美元

1、08年液晶面板制造裝置的銷售額比上年增加58％，達(dá)130億美元日本新一代移動(dòng)顯示材料技術(shù)研究協(xié)會(huì)（TRADI）開發(fā)出在薄膜底板上連續(xù)形成TFT陣列的技術(shù)。可用于采用卷對(duì)卷制造技術(shù)的液晶面板制造。此次，TRADIM在長(zhǎng)10m、寬300mm的薄膜底板上形成了相當(dāng)于3.5英寸的TFT陣列。薄膜底板的厚度約為250μm。即使把薄膜底板纏繞在直徑為300mm的輥軸上，TFT陣列也不會(huì)折斷或龜裂。薄膜底板的Tg（玻璃化轉(zhuǎn)變溫度）為250℃以上，線膨

2、脹系數(shù)為14ppm℃。即便使用卷對(duì)卷制造技術(shù)，在進(jìn)行與彩色濾光片底板粘合時(shí)的熱處理（配向膜的燒成和密封硬化的熱處理）時(shí)，“也可保持尺寸穩(wěn)定性”（該公司）。薄膜的透過率為90％左右。另外，對(duì)于薄膜的材料類型和開發(fā)廠商的名稱，該公司表示“不便公布”。在薄膜底板上形成TFT陣列的工藝為：首先，在玻璃底板上形成TFT陣列。用抗化學(xué)制劑的薄膜封裝TFT陣列的表面后，用藥液蝕刻玻璃底板背面，將厚度減至幾十μm，實(shí)現(xiàn)薄型化。之后，使用光學(xué)同向性粘合劑

3、將薄型TFT陣列底板連續(xù)粘貼到薄膜底板上，由此形成TFT陣列。該協(xié)會(huì)此前已開發(fā)出在薄膜底板上形成彩色濾光片和背照燈光學(xué)系統(tǒng)的技術(shù)。利用此次的TFT薄膜底板和已有的彩色濾光片，該協(xié)會(huì)計(jì)劃2008年內(nèi)試制采用卷對(duì)卷技術(shù)的液晶面板。（記者：佐伯真也）08年液晶面板制造裝置的銷售額比上年增加58％，達(dá)130億美元日本新一代移動(dòng)顯示材料技術(shù)研究協(xié)會(huì)（TRADI）開發(fā)出在薄膜底板上連續(xù)形成TFT陣列的技術(shù)?？捎糜诓捎镁韺?duì)卷制造技術(shù)的液晶面板制造。此

4、次，TRADIM在長(zhǎng)10m、寬300mm的薄膜底板上形成了相當(dāng)于3.5英寸的TFT陣列。薄膜底板的厚度約為250μm。即使把薄膜底板纏繞在直徑為300mm的輥軸上，TFT陣列也不會(huì)折斷或龜裂。薄膜底板的Tg（玻璃化轉(zhuǎn)變溫度）為250℃以上，線膨脹系數(shù)為14ppm℃。即便使用卷對(duì)卷制造技術(shù)，在進(jìn)行與彩色濾光片底板粘合時(shí)的熱處理（配向膜的燒成和密封硬化的熱處理）時(shí)，“也可保持尺寸穩(wěn)定性”（該公司）。薄膜的透過率為90％左右。另外，對(duì)于薄膜的

5、材料類型和開發(fā)廠商的名稱，該公司表示“不便公布”。在薄膜底板上形成TFT陣列的工藝為：首先，在玻璃底板上形成TFT陣列。用抗化學(xué)制劑的薄膜封裝TFT陣列的表面后，用藥液蝕刻玻璃底板背面，將厚度減至幾十μm，實(shí)現(xiàn)薄型化。之后，使用光學(xué)同向性粘合劑將薄型TFT陣列底板連續(xù)粘貼到薄膜底板上，由此形成TFT陣列。該協(xié)會(huì)此前已開發(fā)出在薄膜底板上形成彩色濾光片和背照燈光學(xué)系統(tǒng)的技術(shù)。利用此次的TFT薄膜底板和已有的彩色濾光片，該協(xié)會(huì)計(jì)劃2008年內(nèi)