2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
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文檔簡介

1、137GAS系統(tǒng)基礎知識337二、二、GASHOOKUP專業(yè)知識的基本認識專業(yè)知識的基本認識在半導體廠，所謂氣體管路的Hookup（配管銜接）以BuckGas（一般性氣體如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2等）而言，自供氣源之氣體存貯槽出口點經(jīng)主管線（MainPiping）至次主管線（SubMainPiping）之TakeOff點稱為一次配（SP1Hookup），自TakeOff出口點至機臺（Tool）或設備（Equi

2、pment）的入口點，謂之二次配（SP2Hookup）。以SpecialtyGas（特殊性氣體如：腐蝕性、毒性、易燃性、加熱氣體等之氣體）而言其供氣源為氣柜（GasCabi）。自GC出口點至VMB（ValveMainfoldBox.多功能閥箱）或VMP（ValveMainfoldPanel多功能閥盤）之一次測（Primary）入口點，稱為一次配（SP1Hookup），由VMB或VMPStick之二次側(cè)（Secondary）出口點至機臺入

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