高低溫高真空探針臺技術(shù)要求

1、高低溫高真空探針臺技術(shù)要求高低溫高真空探針臺技術(shù)要求(一)設(shè)備名稱：設(shè)備名稱：高低溫高真空探針臺高低溫高真空探針臺(二)數(shù)量：數(shù)量：一套(三)設(shè)備用途明：設(shè)備用途明：高真空高低溫探針臺，用于對集成電路、柔性三極管及半導(dǎo)體器件等的精密器件進(jìn)行表面觀測以及分析檢查、晶圓級可靠性分析、電性測試、器件特性描述等。(四)高低溫高真空探針臺技術(shù)要求高低溫高真空探針臺技術(shù)要求1.1.對載物臺的要求對載物臺的要求?8英寸半自動平臺；?可以實現(xiàn)通過軟件對

2、晶片載臺XYZTheta四個方向的移動全程控制；?真空吸附；?XY行程不小于200mmX300mm；?XY分辨率優(yōu)于1um；?載物臺平整度優(yōu)于10um；?載物臺到探針支架的距離≥10mm。2.2.對微暗箱結(jié)構(gòu)的要求微暗箱結(jié)構(gòu)的要求?可以控制樣品室氣氛以及屏蔽光磁；?機(jī)臺配有真空模塊，具有氣體環(huán)境操作功能；?支持升級高低溫模塊。3.對探針座的要求對探針座的要求?DC探針座不少于4個、RF探針座不少于2個；?探針座精確度優(yōu)于3m重復(fù)定位精度

3、優(yōu)于3m；?XYZ方向行程≥10mm；?DC針座漏電流200fA；?RF探針座支持20GHz以上的射頻測試。4.對顯微鏡系統(tǒng)的要求對顯微鏡系統(tǒng)的要求?移動范圍不小于45mm45mm；?工作距離不小于80mm；?分辨率優(yōu)于2.5μm（或放大倍數(shù)500倍以上）；?具備體式顯微功能或側(cè)面光路功能，兩套顯示器裝置；?需配有高清數(shù)字成像系統(tǒng)。5.對軟件系統(tǒng)的要求對軟件系統(tǒng)的要求?標(biāo)準(zhǔn)測試軟件；?射頻測試軟件；?測試過程需要可視化。6.到貨與培訓(xùn)到

4、貨與培訓(xùn)?自合同簽訂之日起3個月內(nèi)到貨；?到貨后負(fù)責(zé)安裝、測試、現(xiàn)場公開培訓(xùn)；?安排安排12名本實驗室工程技術(shù)人員到國外原廠接受專業(yè)培訓(xùn)。名本實驗室工程技術(shù)人員到國外原廠接受專業(yè)培訓(xùn)。高低溫高真空探針臺技術(shù)要求高低溫高真空探針臺技術(shù)要求(一)設(shè)備名稱：設(shè)備名稱：高低溫高真空探針臺高低溫高真空探針臺(二)數(shù)量：數(shù)量：一套(三)設(shè)備用途明：設(shè)備用途明：高真空高低溫探針臺，用于對集成電路、柔性三極管及半導(dǎo)體器件等的精密器件進(jìn)行表面觀測以及分析

5、檢查、晶圓級可靠性分析、電性測試、器件特性描述等。(四)高低溫高真空探針臺技術(shù)要求高低溫高真空探針臺技術(shù)要求1.1.對載物臺的要求對載物臺的要求?8英寸半自動平臺；?可以實現(xiàn)通過軟件對晶片載臺XYZTheta四個方向的移動全程控制；?真空吸附；?XY行程不小于200mmX300mm；?XY分辨率優(yōu)于1um；?載物臺平整度優(yōu)于10um；?載物臺到探針支架的距離≥10mm。2.2.對微暗箱結(jié)構(gòu)的要求微暗箱結(jié)構(gòu)的要求?可以控制樣品室氣氛以及屏

6、蔽光磁；?機(jī)臺配有真空模塊，具有氣體環(huán)境操作功能；?支持升級高低溫模塊。3.對探針座的要求對探針座的要求?DC探針座不少于4個、RF探針座不少于2個；?探針座精確度優(yōu)于3m重復(fù)定位精度優(yōu)于3m；?XYZ方向行程≥10mm；?DC針座漏電流200fA；?RF探針座支持20GHz以上的射頻測試。4.對顯微鏡系統(tǒng)的要求對顯微鏡系統(tǒng)的要求?移動范圍不小于45mm45mm；?工作距離不小于80mm；?分辨率優(yōu)于2.5μm（或放大倍數(shù)500倍以上）