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文檔簡介
1、第一章:為何使用干涉儀做檢測第一章:為何使用干涉儀做檢測1111干涉度量學干涉度量學第一章為什么要使用干涉儀檢測首先我們要先了解,什么是干涉度量學?所謂干涉度量學是指利用光干涉的效應來量測特定物理量的方法也就是說藉由觀察干涉條紋的變化來量測出待測物的特征1212何謂干涉儀何謂干涉儀干涉儀是什么一般來說只要是利用光干涉的原理來量測的儀器便可以稱為干涉儀但是干涉儀的種類眾多且多變化因此本課程中將針對最為外界常用之種類作介紹分之一約為6個(n
2、m)目前的奈米科技是在這個尺度甚至有些更好的干涉儀可以到0.6個(nm)從此可以看出干涉儀的精度有多好了第二章:非球面玻璃模造的原理第二.非接觸式量測另一種量測用的輪廓儀是使用接觸式的量測方式即使目前已可以微調接觸的力量但對于表面較脆弱的被量測物是否真的完全不會造成損害則仍無法確定.而當用干涉儀量測時是把光照射到被量測的物體上所以干涉儀上的探針也就是光并不會對物體表面照成任何傷害第三使用探針來量測時無法一次量測所有的面積而可能必需分很多
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