zls（手冊）-23b氦質譜檢漏儀操作手冊

1、ZLS23B氦質譜檢漏儀操作手冊氦質譜檢漏儀操作手冊日常開機日常開機1將總電源轉到“前級泵”，低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關，表頭示值也應能抽到原來位置，再關抽速閥。2將總電源轉到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3等20分鐘左右，擴散泵排氣管應熱，開冷規(guī)開關，“質譜室壓強”表頭指針應從左打向右（即冷規(guī)已激發(fā)）再關冷規(guī)。4開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應從左打向右，再從右向左逐漸上升（真空示

2、值在1102Pa以下請不要長時間開冷規(guī)，可等一會兒再開），當真空示值超過1102Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關漏孔檢查儀器靈敏度（可調加速電壓使信號指示最大），靈敏度達要求后關漏孔。5將工件用外接泵抽上真空后，開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5103~1102Pa之間，對工件噴氦檢漏。檢漏完，關節(jié)流閥。關機關機1關冷規(guī)，關抽速閥。2將總電源轉到“前級泵”。3等20分鐘左右，擴散泵已冷，將總電源轉到“關”。儀器靈敏度儀器靈敏度

3、1靜態(tài)靈敏度本儀器要求≤21011Pam3sQmin=Qo例：Qmin=2.07109=1.661011Pam3sSnUUmVmV2502①Un—儀器噪音和漂移：如無明顯擺動，則按表頭最靈敏檔的150或表頭最小分格計算，本儀器為2mV。②Us—信號值：開、關漏孔在儀器放大器表頭讀出的電壓值。③Qo—漏孔漏率值：本儀器所指的漏率值為空氣的漏率值，儀器現(xiàn)使用的校準漏孔，其標定值為氦氣的漏率值，應按下式換算為空氣的漏率值。Qo＝QHe≈QHe

4、2.7例：5.61092.7＝2.07109Pam3s21MMM1—空氣的分子量為28.96M2—氦的分子量為4.0026QHe—氦氣的漏率值2動態(tài)靈敏度因檢漏時選擇的方法及分流情況不同，儀器靈敏度可能較靜態(tài)靈敏度下降，此時的靈敏度應按選定的檢漏方法，調好儀器后進行校準，計算公式與以上靜態(tài)靈敏度公式相同。檢漏時，工件的漏率值可按下式計算：Qx＝Qo例：Qx＝2.07109＝1.38108Pam3sSxUUmVmV30200Qx—工件的漏

5、率值。UX—對工件檢漏時儀器放大器表頭讀出的電壓值。Us—開、關漏孔在儀器放大器表頭讀出的電壓值。Qo—漏孔漏率值檢漏注意事項檢漏注意事項一、工件要保持清潔、干燥。二、對工件噴氦應按以下順序進行：①從上往下。②從靠近測試口到遠離測試口。三、噴氦時應經常檢查噴槍口是否有氦氣噴出。四、檢完工件，必須將必須將“節(jié)流閥節(jié)流閥”關閉，才能取工件。關閉，才能取工件。五、對同一工件，如有兩處以上漏點，應排除最大的漏點后，再對其它地方檢漏。六、裝工件時

6、應使連接處密封好，不能有漏。七、檢漏間應通風良好，避免氦氣濃度增高，但應避免強通風。八、氦氣屬貴重氣體，應避免泄漏浪費。提高檢漏靈敏度方法提高檢漏靈敏度方法一、盡量開大節(jié)流閥。二、盡量減小外接泵對工件的分流或采用不分流檢漏（當工件抽上真空后，關閉工件與外接泵之間的閥門）。三、將工件用塑料袋包扎，袋內再充入氦氣，（但此法不能測出具體漏點）。四、使用液氮，全開節(jié)流閥，采用不分流檢漏，必要時可將抽速閥關小。使用液氮一、加液氮：在冷規(guī)指針過11

7、02Pa以后，加入液氮。二、停機前必須將殘余液氮排除后，才能關機：關機前先關“冷規(guī)”，關抽速閥，將總電源轉到“前級泵”，將冷阱內殘余液氮排出，再加入熱水，等20分鐘左右，擴散泵已冷，將總電源轉到“關”。三、加液氮時應注意防護，防止凍傷，加液氮每次不一定加滿，使用中如不夠，可再加。四、第二天（或定期）將液氮冷阱取下，清洗冷阱內、外筒，再用吹風吹干，安裝好后按正常程序開機。調氦峰一、在更換燈絲后及每天開始檢漏前檢查儀器靈敏度達不到要求時進行

8、。1調氦峰方法：開漏孔開關，單方向（從75~165V或從165~75V）調加速電壓“V”，使儀器放大器輸出表指示值出現(xiàn)一個最大值，然后關漏孔開關，如表頭指示值變小，說明儀器接收到氦信號，即找到氦峰；如表頭指示值不變，說明不是氦峰，則繼續(xù)調“V”，直到找到氦峰（出現(xiàn)氦的“V”一般在85~150V之間）?！癡”的變化與表頭指示值的關系：2分辨不好：（1）氦和重離子分辨差（2）氦和輕離子分辨差75V165V原因：離子流偏轉半徑偏大原因：離子流

9、偏轉半徑偏小解決辦法：將離子源中的引出縫往解決辦法：將離子源中的引出縫往3信號小：收集極方向調一點離子源座方向調一點①燈絲沒正對電離盒上的電子入口②燈絲離電離盒太遠③分辨不好④燈絲質量差（受油蒸汽污染或本身發(fā)射能力低）二、換燈絲：當冷規(guī)指針已過1102Pa，按燈絲啟動，燈很亮，發(fā)射電流無指示，量離子源插頭①②足不通，即為燈絲斷，燈絲壽命一般正常使用為1至3個月。1停機換燈絲：可直接取下離子源更換燈絲，裝好后按正常開機步驟進行。2不停機換

10、燈絲：關冷規(guī)，關抽速閥，取離子源插頭，取下離子源，更換燈絲后裝上離子源，插離子源插頭，此時“加速電壓”示值不應有變化，“發(fā)射電流”示值應為零。如其中有一示值與上不符，則是離子源內有短路，應取下排除。將閥開關由“前置”轉向“粗抽”（注意：閥開關在“粗抽”的時間不要超過五分鐘），全開節(jié)流閥，等真空抽上后，關閉節(jié)流閥，將“粗抽”轉向“前置”，開抽速閥，開冷規(guī)，等真空過1102Pa后可啟動燈絲，調氦峰。3燈絲安裝時應先將離子源內的污漬用細砂紙打