已閱讀1頁，還剩7頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀
版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認領(lǐng)
文檔簡介
1、1四點探針量測儀使用操作手冊四點探針量測儀使用操作手冊作者：作者：余沐榮余沐榮光電碩一光電碩一分機分機:46924692(2007200773030)四點探針量測儀(FourPointProbe)可以測量導(dǎo)體及半導(dǎo)體的電阻。本設(shè)備主要用途為量測半導(dǎo)體薄膜電阻，即片電阻係數(shù)(SheetResistivity)，單位為Ω?或ohmspersquare。(符號?代表對一片面積做量測，並不是代表cm2)可量測樣品規(guī)格為:(1)2吋至6吋晶圓(表
2、面須為平整的導(dǎo)電薄膜)(2)破片:至少2公分見方以上操作步驟如下操作步驟如下:打開靠近四點探針儀側(cè)面打開靠近四點探針儀側(cè)面(右手邊右手邊)的電源開關(guān)，接著按下電腦的電源開關(guān)，接著按下電腦PowerON鍵後，隨即進入主畫面。鍵後，隨即進入主畫面。打開開關(guān)打開開關(guān)PowerON測量破片時，請勿將待測樣品置於狹縫之中，以避免探針損壞，如下圖所示:3Cassette操作介面沒有作用(勿動)。ProbeArm:調(diào)整探針懸臂的移動位置調(diào)整探針懸臂的
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
評論
0/150
提交評論