真空泵選型方法32115

1、真空泵選型方法真空泵選型方法選用真空泵時，需要注意下列事項：1、真空泵真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1105mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5106mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級。2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴(kuò)散泵為103~107mmHg，在這樣寬壓強范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強而變化，其穩(wěn)定的工作壓強范圍為5104~

2、5106mmHg。因而，泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在108mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在102mmHg下工作，但其工作壓強應(yīng)小于1105mmHg為好。3、真空泵在其工作壓強下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二

3、極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。5、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。6、了解被抽氣體

4、成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。8、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。9、真空泵的價格

5、、運轉(zhuǎn)及維修費用。水環(huán)式真空泵的選擇一、泵類型的確定泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。泵工作時，需要注意以下兩個方面：盡可能要求在高效區(qū)內(nèi)，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運行。應(yīng)避免在最大真空度或最大排氣壓力附近運行。在此區(qū)域內(nèi)運行，不僅效率極低，而且工作很不穩(wěn)定，易產(chǎn)生振動和噪音。對于真空度較高的真空泵而言，在此區(qū)域之內(nèi)運行，往往還會發(fā)生汽蝕現(xiàn)象，產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標(biāo)志是泵內(nèi)有噪音和振動。汽蝕會導(dǎo)致泵體、葉

6、輪等零件的損壞，以致泵無法工作。根據(jù)以上原則，當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時，可優(yōu)先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高，單級泵往往不能滿足，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲線在較高真空度時較平坦，可選用兩級泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可選用水環(huán)－大氣泵或水環(huán)－羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置。二、根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵初步選定了泵的類型之后，對于真空泵，還要根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量來選用泵的型號。

7、關(guān)于真空泵的抽速選擇及抽氣時間計算可參照我公司網(wǎng)頁真空計算公式。2BE1型雙級水環(huán)式真空泵5～320m3min11～3802BV型水環(huán)式真空泵0.3～8.3m3min0.81～152SK型雙級水環(huán)式真空泵0.4～30m3min3.51032.2～55S、SK型水環(huán)式真空泵0.67～25m3min(3.5～4)1031.5～55SK型水環(huán)式真空泵0.4～120m3min(8～15)1031.1～185SZ、SK型水環(huán)式真空泵1.5～27m

8、3min(5～14)1035.5～75SK、2YK型水環(huán)式真空泵5～280m3min10422～380液環(huán)真空泵FSK型水環(huán)式真空泵3～9m3min(5～14)1037.5～22YL型液環(huán)式真空泵5～25m3min910430～132JZJ型羅茨、旋片真空泵機(jī)組30～1200(1～5)10－21.3～26JZJ1型羅茨、旋片真空泵機(jī)組70～1200(5～10)10－24.3～22.5JZJS型羅茨、水環(huán)真空泵機(jī)組70～6007～39.5

9、JZJ1S型羅茨、水環(huán)真空泵機(jī)組150～60025～6509.7～24.7JZJH型羅茨、滑閥真空泵機(jī)組300～120010－111.5～26真空泵機(jī)組2BW4型水環(huán)真空泵成套機(jī)組10～95m3min10345～185真空表讀數(shù)與真空度(Pa)該如何換算？我們經(jīng)常接到電話，一些用戶詢問，真空表讀數(shù)所反映的究竟是多少Pa。能不能用直觀的數(shù)字來顯示？（1）真空表上“0”表示正一個大氣壓“0.1”表示絕對真空。真空表上的指示值不表示真空度的絕