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1、真空計(jì)算公式真空計(jì)算公式1、玻義爾定律2、蓋呂薩克定律3、查理定律4、平均自由程5、抽速6、通導(dǎo)7、真空抽氣時(shí)間8、維持泵選擇9、擴(kuò)散泵抽速估算10、羅茨泵的前級(jí)抽速11、漏率12、粗抽泵的抽速選擇13、前級(jí)泵抽速選擇14、擴(kuò)散泵抽速計(jì)算公式15、旋片真空泵的幾何抽速計(jì)算公式16、O型橡膠槽深17、方形橡膠槽深6、通導(dǎo):、通導(dǎo):C=Q(P2P1)(升秒)7、真空抽氣時(shí)間:、真空抽氣時(shí)間:對(duì)于從大氣壓到1托抽氣時(shí)間計(jì)算式:t=8VS(經(jīng)驗(yàn)
2、公式)V為體積,S為抽氣速率,通常t在5~10分鐘內(nèi)選擇。8、維持泵選擇:、維持泵選擇:S維=S前109、擴(kuò)散泵抽速估算:、擴(kuò)散泵抽速估算:S=3D2(D=直徑cm)1010、羅茨泵的前級(jí)抽速:、羅茨泵的前級(jí)抽速:S=(0.1~0.2)S羅(ls)1111、漏率:、漏率:Q漏=V(P2P1)(t2t1)Q漏-系統(tǒng)漏率(mmHgls)V-系統(tǒng)容積(l)P1-真空泵停止時(shí)系統(tǒng)中壓強(qiáng)(mmHg)P2-真空室經(jīng)過時(shí)間t后達(dá)到的壓強(qiáng)(mmHg)t
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