晶圓處理工程用語

1、晶圓處理工程用語晶圓處理工程用語D1基本、共同用語基本、共同用語運(yùn)載盒必保持晶圓不至受到容器排放瓦斯之污染輸送盒材質(zhì)之鑒定至為重要.目前輸送盒以使用聚丙稀(polypropylene)樹脂及聚碳酸脂(polycarbonate)的樹脂為主.D1014Clustertool組合設(shè)備公具指將不同裝置廠家之設(shè)備或不同制程之結(jié)合或能將半導(dǎo)體裝置制造商獨(dú)特之制造模塊，加以裝配之多加工室（multichamber）制造裝置。是以美國半導(dǎo)體制造裝置廠

2、家為中心之團(tuán)體MESA(ModularEquipmentStardArchitecture)所提倡者。D1015Prepurge是指要使用熱處理爐、反應(yīng)室或瓦斯配管系統(tǒng)之前，將純性瓦斯引進(jìn)加以凈化之操作。D1016Costofownership是將半導(dǎo)體制造相關(guān)設(shè)備之投資，或?qū)I運(yùn)之經(jīng)濟(jì)性評(píng)價(jià)基準(zhǔn)，以經(jīng)營位皆加以模型化者。將制造裝置之壽命周期成本（lifecyclecost）以裝置價(jià)格、生產(chǎn)性、可靠性及成品率等加以考量，而算出每一晶圓良

3、品成本之方法。D1017Magiccoupledfeedthrough磁耦合旋轉(zhuǎn)饋通是指利用N極S極之磁性結(jié)合力，將外旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力傳達(dá)到真空氣氛內(nèi)之旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。是一種非接觸旋轉(zhuǎn)，因多半在真空與大氣間隔著一道墻壁之構(gòu)造，其真空密封壽命為無限大，對(duì)超高真空性能之維持很有效。D1018Magiclevitationtransfer磁懸浮輸送是指利用磁性反斥力之非接觸性輸送機(jī)構(gòu)。是由控制磁懸浮之控制電磁鐵、線性馬達(dá)及懸浮體等所構(gòu)成，例如遮光罩或晶圓

4、等之基片搭載在懸浮體上來移動(dòng)。在真空中使用時(shí)，因?qū)俜墙佑|，無振動(dòng)、無潤(rùn)滑油及全然不產(chǎn)生灰塵，具有可獲得潔凈真空等大特點(diǎn)。D1019Robotfusinginvacuum真空機(jī)械人是指在真空室內(nèi)，為要移送基板單體所使用輸送機(jī)構(gòu)之總稱。為防止例如遮光罩，晶圓等基板受到微粒之污染，采用振動(dòng)部極低之機(jī)構(gòu)。就其功能而言，一般具有直進(jìn)、旋轉(zhuǎn)、上下移動(dòng)等功能。D1020Throughput生產(chǎn)量，工作數(shù)是單位時(shí)間內(nèi)所能處理之遮光罩或晶圓等基板之工作數(shù)