傳感器技術(shù)的應(yīng)用與發(fā)展趨勢分析

1、傳感器技術(shù)的應(yīng)用與發(fā)展趨勢分析,1.傳感器概述2.傳感器技術(shù)的主要應(yīng)用3.傳感器技術(shù)的主要發(fā)展趨勢4.傳感器技術(shù)面臨的桃戰(zhàn)和機(jī)遇,工程學(xué)院在職研究生 機(jī)械工程專業(yè) GC432013230王振星,1.傳感器概述,隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展, 傳感器技術(shù)已越來越廣泛地應(yīng)用于機(jī)械制造、交通運(yùn)輸、石油化工、醫(yī)療衛(wèi)生等領(lǐng)域, 而且也正逐步滲透到人們的日常生活中去?？梢哉f, 傳感器技術(shù)水平的高低, 是衡量一個國家科學(xué)技術(shù)現(xiàn)代化程度的

2、重要標(biāo)志。,1.1 傳感器的含義及組成,傳感器是把非電學(xué)物理量（如位移、速度、壓力、溫度、濕度、流量、聲強(qiáng)、光照度等）轉(zhuǎn)換成易于測量、傳輸、處理的電學(xué)量（如電壓、電流、電容等）的一種組件，起自動控制作用。,,轉(zhuǎn)換器件,,敏感元件,,轉(zhuǎn)換電路,,敏感元件感受被測量; 轉(zhuǎn)換元件將響應(yīng)的被測量轉(zhuǎn)換成電參量; 基本電路把電參量接入電路轉(zhuǎn)換成電量; 核心部分是轉(zhuǎn)換元件,決定傳感器的工作機(jī)理。,,一般由敏感元件、轉(zhuǎn)換器件、轉(zhuǎn)換電路三個部分組成

3、，如：,人們?yōu)榱藦耐饨绔@取信息，必須借助于感覺器官而單靠人們自身的感覺器官，在研究自然現(xiàn)象和規(guī)律以及生產(chǎn)活動中它們的功能就遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠了。為適應(yīng)這種情況，就需要傳感器。因此可以說，傳感器是人類五官的延長，又稱之為電五官。,1.2 傳感器的主要作用,在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)尤其是自動化生產(chǎn)過程中，要用各種傳感器來監(jiān)視和控制生產(chǎn)過程中的各個參數(shù)，使設(shè)備工作在正常狀態(tài)或最佳狀態(tài)，并使產(chǎn)品達(dá)到最好的質(zhì)量。因此可以說，沒有眾多的優(yōu)良的傳感器，現(xiàn)代化生產(chǎn)也就失去

4、了基礎(chǔ)。 傳感器早已滲透到諸如工業(yè)生產(chǎn)、宇宙開發(fā)、海洋探測、環(huán)境保護(hù)、資源調(diào)查、醫(yī)學(xué)診斷、生物工程、甚至文物保護(hù)等等極其之泛的領(lǐng)域?？梢院敛豢鋸埖卣f，從茫茫的太空，到浩瀚的海洋，以至各種復(fù)雜的工程系統(tǒng)，幾乎每一個現(xiàn)代化項目，都離不開各種各樣的傳感器。,1.3傳感器的工作原理,各種傳感器其輸出信號的形式因傳感器而異。檢測儀器的輸出或送控制器用以調(diào)節(jié)控制，或送至計算機(jī)作進(jìn)一步處理。 現(xiàn)代傳感技術(shù)是自動檢測和自動控制系統(tǒng)以及機(jī)

5、電一體化的第一基礎(chǔ)。,圖1.1 傳感器的工作原理,,實(shí)際上被測對象涉及各個領(lǐng)域。最初的測量對象是長度、體積、質(zhì)量和時間。18世紀(jì)以來科學(xué)技術(shù)取得飛速發(fā)展，被測對象迅速擴(kuò)大。 力學(xué)領(lǐng)域有速度、加速度、力、功和能量等； 電磁學(xué)領(lǐng)域中有電流、電壓、電阻、電容、磁場； 化學(xué)領(lǐng)域中有濃度、成分、pH值等； 工業(yè)領(lǐng)域中有流量、壓力、溫度、黏度等被測量。 現(xiàn)在的被測對象更為廣泛，有人體心電、腦

6、電波等體表電位測量，生物斷面測量；工業(yè)領(lǐng)域的光澤、觸覺等品質(zhì)測量；衛(wèi)星上監(jiān)視地球的紅外線傳感器；機(jī)器人的視覺、觸覺、滑覺、接近覺等各種傳感器。,,另一方面，測量儀器的輸出信號必須轉(zhuǎn)化為電壓、電流或數(shù)字量中的一種。由于傳感器的種類很多，傳感器的輸出有各種形式，如熱電偶、pH電極等輸出為直流電壓；熱敏電阻、應(yīng)變計、半導(dǎo)體氣體傳感器輸出為電阻，……。 信號處理就是通過信號轉(zhuǎn)換、放大、解調(diào)、A/D轉(zhuǎn)換得到所希望的輸出信號過程。這是檢測

7、系統(tǒng)中使用的共同技術(shù)。,普通電測儀表基本組成,,就被測對象而言工業(yè)上需要檢測的量有電量和非電量兩大類。 非電量早期多用非電量的方法測量，例如：用尺測量長度；用液體熱膨脹的溫度計測溫度；天平測量物重。 隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對測量的精確度、速度提出新的要求，尤其對動態(tài)變化的物理過程和物理量遠(yuǎn)距離測量，用非電方法無法實(shí)現(xiàn)，必須采用電測法 傳統(tǒng)的傳感器可以完成從非電量到非電量的轉(zhuǎn)換，但無法實(shí)現(xiàn)現(xiàn)代智能儀器儀表的自動

8、測量，無法完成過程控制的自動檢測與控制。,,無論是電量測量還是非電量測量，數(shù)字電壓表問世以來，模擬式儀表逐漸被數(shù)字式儀表取代。 微型計算機(jī)出現(xiàn)后形成嶄新的微機(jī)自動化測試系統(tǒng); 單片微機(jī)對采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理并提供顯示和記錄 同時，也對整個測試過程進(jìn)行控制。,具體地說傳感器是指那些對被測對象的某一確定的信息具有感受與檢出功能, 并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成與之對應(yīng)的有用信號的元器件或裝置。通常, 傳感器接收到的信號都是微弱的低頻信號

9、, 外界的干擾有時幅度能夠超過被測量的信號, 因此消除串入的噪聲就成為了一項關(guān)鍵的技術(shù)。如果沒有傳感器對被測的原始信息進(jìn)行準(zhǔn)確可靠的捕獲和轉(zhuǎn)換, 一切準(zhǔn)確的測試與控制都將無法實(shí)現(xiàn), 即使最現(xiàn)代化的電子計算機(jī), 沒有準(zhǔn)確的信息或有不失真的輸入, 也將無法充分發(fā)揮其應(yīng)有的作用。,由于傳感器的種類繁多, 所以分類方法也較多。 1)按傳感器的檢測信息來分可分為光敏、熱敏、力敏、磁敏、氣敏、濕敏、壓敏、離子敏和射線敏等傳感器。 2

10、) 按轉(zhuǎn)換原理可分為物理傳感器、化學(xué)傳感器和生物傳感器。 3) 按其輸出信號可分為模擬傳感器、數(shù)字傳感器和開關(guān)轉(zhuǎn)換器。,1.4傳感器的分類,4)按傳感器使用的材料可分為: 半導(dǎo)體傳感器、陶瓷傳感器、復(fù)合材料傳感器、金屬材料傳感器、高分子材料傳感器、超導(dǎo)材料傳感器、光纖材料傳感器、納米材料傳感器等。 5)按能量轉(zhuǎn)換可分為能量轉(zhuǎn)換型傳感器和能量控制型傳感器。 6) 按照其制造工藝, 可以將傳感器區(qū)分為集成傳感器、薄膜

11、傳感器、厚膜傳感器、陶瓷傳感器等,2.傳感器技術(shù)的主要應(yīng)用,隨著現(xiàn)代科技技術(shù)的高速發(fā)展, 人們生活水平的迅速提高, 傳感器技術(shù)越來越受到普遍的重視, 它的應(yīng)用已滲透到國民經(jīng)濟(jì)的各個領(lǐng)域。2.1 在工業(yè)生產(chǎn)過程的測量與控制方面的應(yīng)用 在工業(yè)生產(chǎn)過程中, 必須對溫度、壓力、流量、液位和氣體成分等參數(shù)進(jìn)行檢測, 從而實(shí)現(xiàn)對工作狀態(tài)的監(jiān)控。診斷生產(chǎn)設(shè)備的各種情況, 使生產(chǎn)系統(tǒng)處于最佳狀態(tài), 從而保證產(chǎn)品質(zhì)量, 提高效益。目前傳感器與

12、微機(jī)、通訊等的結(jié)合滲透, 使工業(yè)監(jiān)測自動化, 更具有準(zhǔn)確、效率高等優(yōu)點(diǎn)。如果沒有傳感器, 現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)程度將會大大降低。,2.2 傳感器在汽車電控系統(tǒng)中的應(yīng)用 隨著人們生活水平的提高, 汽車已逐漸走進(jìn)千家萬戶。汽車的安全舒適、低污染、高燃率越來越受到社會重視。而傳感器在汽車中相當(dāng)于感官和觸角, 只有它才能準(zhǔn)確地采集汽車工作狀態(tài)的信息, 提高自動化程度。汽車傳感器主要分布在發(fā)動機(jī)控制系統(tǒng)、底盤控制系統(tǒng)和車身控制系統(tǒng)。普通汽車上大

13、約裝有 10- 20 只傳感器, 而高級豪華車有的使用傳感器多達(dá) 300 個,因此傳感器作為汽車電控系統(tǒng)的關(guān)鍵部件, 它將直接影響到汽車技術(shù)性能的發(fā)揮。,圖2.1 車身到位檢測,2.3 在現(xiàn)代醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用 社會的飛速發(fā)展, 需要人們快速、準(zhǔn)確地獲取相關(guān)信息。醫(yī)學(xué)傳感器作為拾取生命體征信息的五官, 它的作用日益顯著, 并得到廣泛應(yīng)用。例如: 在圖像處理、臨床化學(xué)檢驗(yàn)、生命體征參數(shù)的監(jiān)護(hù)監(jiān)測、呼吸、神經(jīng)、心血管疾病的

14、診斷與治療等方面, 使用傳感器十分普及, 現(xiàn)傳感器在現(xiàn)代醫(yī)學(xué)儀器設(shè)備中已無所不在。,圖2.2 醫(yī)療診斷,2.4 在環(huán)境監(jiān)測方面的應(yīng)用 近年來, 環(huán)境污染問題日益嚴(yán)重, 人們迫切希望擁有一種能對污染物進(jìn)行連續(xù)、快速、在線監(jiān)測的儀器, 傳感器滿足了人們的要求。目前, 已有相當(dāng)一部分生物傳感器應(yīng)用于環(huán)境監(jiān)測中, 如大氣環(huán)境監(jiān)測。二氧化硫是酸雨霧形成的主要原因, 傳統(tǒng)的檢測方法很復(fù)雜。現(xiàn)在將亞細(xì)胞類脂類固定在醋酸纖維膜上, 和氧電極制成安培

15、型生物傳感器, 可對酸雨酸霧樣品溶液進(jìn)行檢測, 大大簡化了檢測方法。,圖2.3檢測室內(nèi)空氣質(zhì)量,2.5 在軍事方面的應(yīng)用 傳感器技術(shù)在軍用電子系統(tǒng)的運(yùn)用, 促進(jìn)了武器、作戰(zhàn)指揮、控制、監(jiān)視和通信方面的智能化。傳感器在遠(yuǎn)方戰(zhàn)場監(jiān)視系統(tǒng)、防空系統(tǒng)、雷達(dá)系統(tǒng)、導(dǎo)彈系統(tǒng)等方面, 都有廣泛的應(yīng)用,是提高軍事戰(zhàn)斗力的重要因素。,圖2.4 自動瞄準(zhǔn),2.6 在家用電器方面的應(yīng)用 80年代以來, 隨著以微電子為中心的技術(shù)革命的興起

16、, 家用電器正向自動化、智能化、節(jié)能、無環(huán)境污染的方向發(fā)展。自動化和智能化的中心就是研制由微電腦和各種傳感器組成的控制系統(tǒng)。如: 一臺空調(diào)器采用微電腦控制配合傳感器技術(shù), 可以實(shí)現(xiàn)壓縮機(jī)的啟動、停機(jī)、風(fēng)扇搖頭、風(fēng)門調(diào)節(jié)、換氣等, 從而對溫度、濕度和空氣濁度進(jìn)行控制。隨著人們對家用電器方便、舒適、安全、節(jié)能的要求的提高, 傳感器將越來越得到顯著應(yīng)用。,圖2.5液化氣煙霧報警器,圖2.6智能洗衣機(jī),2.7 在學(xué)科研究方面的應(yīng)用 科學(xué)

17、技術(shù)的不斷發(fā)展, 蘊(yùn)生了許多新的學(xué)科領(lǐng)域, 無論從宏觀的宇宙,還是到微觀的粒子世界, 許多未知的現(xiàn)象和規(guī)律要獲取大量人類感官無法獲得的信息, 沒有相應(yīng)的傳感器是不可能的。,圖2.7 沙漠機(jī)器人,2.8 在智能建筑領(lǐng)域中的應(yīng)用 智能建筑是未來建筑的一種必然趨勢, 它涵蓋智能自動化、信息化、生態(tài)化等多方面的內(nèi)容, 具有微型集成化、高精度與數(shù)字化和智能化特征的智能傳感器將在智能建筑中占有重要的地位。,圖2.8 智能建筑,3.傳感

18、器技術(shù)的主要發(fā)展趨勢,3.1 向高精度發(fā)展 自動化生產(chǎn)技術(shù)的不斷發(fā)展,對傳感器的要求也在不斷提高,要求研制出具有高靈敏度、高精確度、快響應(yīng)速度、良好互換性的新型傳感器以確保生產(chǎn)自動化的可靠性。近幾年,世界主要傳感器研究機(jī)構(gòu)采用新理論、新方法、新工藝在提高傳感器精度方面,取得了突出成績。,科學(xué)技術(shù)的發(fā)展使得人們對傳感器技術(shù)越來越重視, 認(rèn)識到它是影響人們生活水平的重要因素之一。因此對傳感器的開發(fā)成為目前最熱門的研究課題之一。傳感器

19、技術(shù)發(fā)展趨勢可以從以下幾方面來看。,美國學(xué)者發(fā)現(xiàn)了一種新方法改善傳感器的靈敏度,采取系統(tǒng)化方法將各種設(shè)計法則整合在一起,用一個具有一致性的框架來改善傳感器的設(shè)計。他們比較了傳統(tǒng)的平面?zhèn)鞲衅鹘M件與圓柱形單納米管傳感器組件,結(jié)果顯示較小的圓柱形傳感器的靈敏度至少高100倍,這足以證明越小越好的理論。 太陽誘電開發(fā)出檢測靈敏度為10×-9(1ppb)的氣體傳感器因其吸附氣體的特點(diǎn),太陽誘電將其稱為“納米級氣體傳感器”,并在2

20、007年10月2日開幕的/CEATEC JAPAN 20070上展示。該傳感器在硅晶圓上形成80Lm@500Lm介電膜,利用介電膜吸附氣體后,介電膜的電阻值出現(xiàn)變化,以此來檢測氣體。,3.2 向微型化發(fā)展 各種控制儀器設(shè)備的功能越來越多,要求各個部件體積越小越好,因而傳感器本身體積也是越小越好,這就要求重點(diǎn)發(fā)展基于新材料及加工技術(shù)的微型傳感器。,日立金屬研制了全球最小的3軸加速度傳感器,外形尺寸為215 mm×215

21、mm×1 mm,體積為6125 mm3,采用壓敏電阻型樹脂封裝形式。該封裝尺寸比同類產(chǎn)品縮小了30%的體積,重量為14 mg,也比同類產(chǎn)品降低了46%,具有2萬個重力加速度以上的耐沖擊性。,3.3 向微功耗及無源化發(fā)展 傳感器工作離不開電源,在野外現(xiàn)場或遠(yuǎn)離電網(wǎng)的地方,往往用電池或太陽能供電,開發(fā)微功耗傳感器及無源傳感器是必然的發(fā)展方向,這樣既可以節(jié)省能源又可以提高系統(tǒng)壽命。,英國Perpetuum與澳大利亞CAP-X

22、X開發(fā)出了無需電池即可驅(qū)動的無線傳感器終端,該終端配備可將振動轉(zhuǎn)換為能量的微型發(fā)電機(jī)和雙層電容器?？蓪惭b地點(diǎn)的振動作為能量使用,發(fā)電剩余的電力可儲存在電雙層電容器中。,德國科學(xué)家研制出一種傳感器,能把所通過的流體(液體或氣體)的能量自行轉(zhuǎn)換成電力,也就是說傳感器可以自行/發(fā)電0,這大大方便了系統(tǒng)的設(shè)計和維護(hù)。轉(zhuǎn)換成電力的過程在固定的容腔里進(jìn)行,媒介流體(液體或氣體)像血通過心臟那樣流經(jīng)這里。由于附壁效應(yīng),流體是貼著管道壁流動的;持續(xù)流

23、動在這里產(chǎn)生周期性的壓力變動,由回饋部件傳導(dǎo)到壓電陶瓷,由壓電陶瓷最終把流體的能源轉(zhuǎn)換成電力。產(chǎn)生的電力在微瓦或毫瓦級,能夠滿足循環(huán)運(yùn)行傳感器的能源需求,保證傳感器讀取并傳出相關(guān)的數(shù)據(jù)。,3.4 向智能化發(fā)展 隨著科技發(fā)展,傳感器的功能日益復(fù)雜。其輸出不再是單一的模擬信號,而是經(jīng)過微處理器處理后的數(shù)字信號,有的甚至帶有控制功能。技術(shù)發(fā)展表明數(shù)字信號處理器(DSP)將推動眾多新型下一代產(chǎn)品的發(fā)展。 美國圣何塞的Accent

24、ure技術(shù)實(shí)驗(yàn)室研發(fā)出了一項被稱為/智能塵埃0的智能傳感系統(tǒng),能自動監(jiān)視并對樹葉狀物體燃燒發(fā)出警告。智能塵埃傳感器一旦噴灑到樹上,塵埃的每個小點(diǎn)將會對附近塵埃進(jìn)行定位并建立無線的連接。當(dāng)斑點(diǎn)檢測到可能的異例時,它將碰觸附近塵埃大小一樣的裝置來決定其獲取的信息,并且能從多重的來源獲取多重的信息,然后傳感器就能判斷樹上是否有危險。一旦被確定有危險,觸發(fā)的傳感器組將通過其無線連接發(fā)送消息給林地工人,對傳感器的網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行監(jiān)視。,3.5向高可靠性發(fā)

25、展 傳感器的可靠性直接影響到電子設(shè)備的抗干擾等性能,研制高可靠性、寬溫度范圍的傳感器將是永久性的方向。提高溫度范圍歷來是大課題,大部分傳感器其工作范圍都在-20~70e,在軍用系統(tǒng)中要求工作溫度在-40~85e范圍,而汽車鍋爐等場合要求傳感器的溫度要求更高,因此發(fā)展新興材料(如陶瓷)的傳感器將很有前途。 西安交大精密工程研究所成功研制了一種可抗2000e瞬時超高溫沖擊的硅隔離耐高溫壓力傳感器。該傳感器能在-30~250e

26、環(huán)境下進(jìn)行壓力測量,可完成1000 MPa以下任意量程范圍的壓力測量,能承受2000e瞬時高溫沖擊,可滿足高溫、高壓、高頻響及瞬時高溫沖擊等惡劣環(huán)境下的壓力測量。,3.6發(fā)展生物傳感器 近些年,隨著生物技術(shù)的發(fā)展,生物傳感器也得到了很大的發(fā)展。并且在食品工業(yè)、環(huán)境監(jiān)測、發(fā)酵工業(yè)、醫(yī)學(xué)等方面得到高度重視和廣泛應(yīng)用,如用于檢測食品成分、食品添加劑、有害毒物及食品鮮度等。 在環(huán)境污染物的連續(xù)、快速、在線監(jiān)測方面,國外將亞細(xì)胞類

27、脂類固定在醋酸纖維膜上,和氧電極制成安培型生物傳感器,對酸雨酸霧樣品溶液進(jìn)行檢測。在發(fā)酵工業(yè)中廣泛采用微生物傳感器作為一種有效的測量工具,利用這種電化學(xué)微生物細(xì)胞數(shù)傳感器可以實(shí)現(xiàn)菌體濃度連續(xù)、在線的測定。微生物傳感器不僅用于臨床醫(yī)學(xué),也用于軍事醫(yī)學(xué)方面,通過及時快速檢測細(xì)菌、病毒,實(shí)現(xiàn)對生物武器的有效防御。,3.7 量子力學(xué)與傳感器技術(shù)的發(fā)展 量子力學(xué)為近代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展提供了理論基礎(chǔ)。利用量子效應(yīng)研制具有敏感某種被測量的量子敏

28、感器件,如共振隧道二級管、量子阱激光器和量子干涉部件等,具有高速(比電子敏感器件速度提高1000倍)、低耗(比電子敏感器件能耗降低1000倍)、高效、高集成度、經(jīng)濟(jì)可靠等優(yōu)點(diǎn)。因此,納米電子學(xué)的發(fā)展,可能會引起新的傳感器技術(shù)革命,從而把傳感器技術(shù)推向新的發(fā)展階段。,3.8無線網(wǎng)絡(luò)化 傳感器網(wǎng)絡(luò)綜合了傳感器技術(shù)、嵌入式計算技術(shù)、現(xiàn)代網(wǎng)絡(luò)及無線通信技術(shù)、分布式信息處理技術(shù)等, 能夠通過各類集成化的微型傳感器協(xié)作地實(shí)時監(jiān)測、感知和采集

29、各種環(huán)境或監(jiān)測對象的信息, 通過嵌入式系統(tǒng)對信息進(jìn)行處理, 并通過隨機(jī)自組織無線通信網(wǎng)絡(luò)以多跳中繼方式將所感知信息傳送到用戶終端。從而真正實(shí)現(xiàn)“無處不在的計算”理念。傳感器網(wǎng)絡(luò)的研究采用系統(tǒng)發(fā)展模式, 因而必須將現(xiàn)代的先進(jìn)微電子技術(shù)、微細(xì)加工技術(shù)、系統(tǒng) SOC(system- on- chip)芯片設(shè)計技術(shù)、納米材料與技術(shù)、現(xiàn)代信息通訊技術(shù)、計算機(jī)網(wǎng)絡(luò)技術(shù)等融合, 以實(shí)現(xiàn)其微型化、集成化、多功能化及系統(tǒng)化、網(wǎng)絡(luò)化, 特別是實(shí)現(xiàn)傳感器網(wǎng)絡(luò)

30、特有的超低功耗系統(tǒng)設(shè)計。,但是, 目前, 傳感器的廣泛應(yīng)用仍面臨著一些困難, 今后一段時間里, 傳感器的研究工作將主要是選擇靈敏度高的敏感元件;提高信號檢測器的使用壽命和傳感器的穩(wěn)定性以及傳感器的微型化、便攜式等問題。在不久的將來, 傳感器會給人們的生活帶來巨大的變化, 它具有廣闊的應(yīng)用前景, 必將在市場上大放異彩。,4 傳感器技術(shù)面臨的桃戰(zhàn)和機(jī)遇 目前科技的快速發(fā)展, 使得復(fù)雜系統(tǒng)越來越復(fù)雜, 自動化已經(jīng)陷入低谷, 其主要原因

31、之一是攝取信息方面的落后; 另一方面也表現(xiàn)為傳感器自身在智能化和網(wǎng)絡(luò)化方面的技術(shù)落后, 傳感器技術(shù)的落后已成為影響自動化業(yè)發(fā)展的瓶頸。因此其面臨著極其嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。同時, 技術(shù)的推動又是加速傳感器技術(shù)發(fā)展的保證和機(jī)遇。幾十年來, 以微電子技術(shù)為基礎(chǔ), 促進(jìn)了傳感器技術(shù)的發(fā)展。未來 10- 20 年, 傳統(tǒng)硅技術(shù)還將得到空前發(fā)展。且不斷擴(kuò)展硅的跨學(xué)科橫向應(yīng)用( 如 MEMS 等) 和突破“非穩(wěn)態(tài)物理器件”(量子、分子器件), 將成為未來

32、20 年傳感器技術(shù)的主要發(fā)展方向和機(jī)遇。,參考文獻(xiàn)[1]楊大麗.傳感器技術(shù)的應(yīng)用與發(fā)展趨勢分析［J］.科技信息.2012.（24）[2]夏偉強(qiáng).樊尚春，傳感器技術(shù)發(fā)展的新進(jìn)展［J］.計策技術(shù).2013.（29）[3]池雪蓮.傳感器技術(shù)應(yīng)用及發(fā)展趨勢展望［J］.襄樊職業(yè)技術(shù)學(xué)院學(xué)報.2012.（1）[4]陳津.傳感器技術(shù)應(yīng)用綜述及發(fā)展趨勢探討［J］.科技創(chuàng)新導(dǎo)報.2012.（10）[5]蔡夕忠.傳感器應(yīng)用技能訓(xùn)練［M］.北京：高