微納中心超凈間培訓(xùn)

1、微納中心超凈間培訓(xùn),超凈間就是達(dá)到一定標(biāo)準(zhǔn)的潔凈度的實(shí)驗(yàn)室，是微納加工的重要平臺(tái)。對于潔凈度的標(biāo)準(zhǔn)，美聯(lián)邦的209E標(biāo)準(zhǔn)的定義是將“室內(nèi)懸浮粒子濃度控制在一定水平的房間”；潔凈室分級(jí)：習(xí)慣上的稱呼為一級(jí)—-十級(jí)-百級(jí)—千級(jí)—萬級(jí)---十萬級(jí)（美國209E標(biāo)準(zhǔn)），這些級(jí)別的劃分是由房間內(nèi)空氣的潔凈度（空內(nèi)懸浮粒子的濃度）來實(shí)現(xiàn)的。百級(jí)、千級(jí)、萬級(jí)定義單位立英尺空氣含直徑于0.5μm塵埃粒數(shù)。,超凈間概述,超凈間工作原理,潔凈度不達(dá)標(biāo)

2、的后果,超凈間內(nèi)的主要污染源是人，包括人體衣服表面附著物、纖維、體表脫落物（皮屑、頭屑、唾沫）、走路揚(yáng)起的塵埃等。有數(shù)據(jù)顯示：人員著不同的衣服和各種動(dòng)作都會(huì)對無塵室的空氣質(zhì)量產(chǎn)生影響，見下表：不同衣著、不同動(dòng)作時(shí)的人體產(chǎn)塵,超凈間污染源控制,門禁2,門禁3,門禁1,C405,,,,,,C406,,,,,,,,10萬級(jí)內(nèi)走廊,緩沖走廊,,千級(jí)區(qū),,,,,不銹鋼柜子,新舊鞋柜,,Research Center for Micro/Nano

3、 System,外部掛衣架(門禁1外走廊),10萬級(jí)走廊,C409,C412,C410,C407,,,C411,C414,超凈間平面布局圖,鞋柜區(qū),更衣室,凈化間,Filter,Filter,Filter,鞋柜,凈化服存貯架,風(fēng)淋室,凈化間桌子，工作臺(tái)，椅子，貨架，推車及設(shè)備,,,,,超凈間結(jié)構(gòu)圖,Step 1進(jìn)入鞋柜區(qū)，在該區(qū)域：1.將限制物品除去(非凈化紙、背包等)2.將個(gè)人物品存放在分配的鞋柜里，禁止放到地面或者柜子上。

4、3.超凈間內(nèi)不準(zhǔn)穿拖鞋，進(jìn)入凈化區(qū)域必須穿白色凈化鞋（臨時(shí)參觀人員穿一次性鞋套），禁止穿同一雙鞋子/鞋套在超凈間內(nèi)外進(jìn)進(jìn)出出 。,凈化鞋不能直接與日常鞋放在一起,否則會(huì)交叉污染! 應(yīng)該將凈化鞋用塑料袋套好，再放在儲(chǔ)物柜內(nèi)。,進(jìn)出超凈間基本操作,存放鞋子入柜,更換防塵白鞋,進(jìn)出超凈間基本操作,Step 2進(jìn)入一更換衣區(qū)，在該區(qū)域：1.穿一更防塵白大褂2.準(zhǔn)備進(jìn)入超凈間,進(jìn)出超凈間基本操作,注意事項(xiàng)：1.防塵白大褂一人一件，請勿亂穿

5、他人的2.取放防塵白大褂時(shí)候，按照規(guī)定放好防塵白大褂3.請及時(shí)清洗防塵白大褂4.衣架上寫上自己的標(biāo)簽，衣服標(biāo)上自己姓名的牌子,進(jìn)出超凈間基本操作,1. 進(jìn)入前在粘塵墊上踩過. 2. 在風(fēng)淋室進(jìn)行風(fēng)淋, 時(shí)間30秒, 風(fēng)淋時(shí)舉起雙手, 緩慢轉(zhuǎn)身3-4圈. 3. 從更衣室進(jìn)凈化間的風(fēng)淋室,每次最多進(jìn)入兩人. 4. 如果發(fā)現(xiàn)風(fēng)淋室不吹風(fēng),可以按“急停”, 再按“風(fēng)淋”. 如果還有問題,通知管理人員維修

6、. 5. 禁止從超凈間的后門 （萬級(jí)間走廊及412房間都有后門）進(jìn)進(jìn)出出，走廊后門是用于運(yùn)輸氣瓶和垃圾廢液等物品的.,Step 3 進(jìn)入風(fēng)淋室,進(jìn)出超凈間基本操作,1. 出超凈間：只從指定超凈間出口走出。 2. 脫及存放一更白大褂：將一更防塵白大褂掛在分配的衣架上，注意不要將一更防塵白大褂的內(nèi)側(cè)翻到外面存放 3. 更換、存放防塵白鞋 進(jìn)入鞋柜區(qū)，更換防塵白鞋，將防塵白鞋存放到鞋柜里,S

7、tep 4 出超凈間,進(jìn)出超凈間基本操作,穿鞋子1.進(jìn)入超凈間一定要更換超凈間專用鞋子或者換鞋套，不允許穿同一雙鞋子/鞋套在超凈間內(nèi)外進(jìn)進(jìn)出出；穿衣服2.進(jìn)入超凈間一定更換防塵服，出超凈間一定將一更防塵服留置在對應(yīng)的衣柜，嚴(yán)禁將防塵服穿出超凈間；不走后門3.禁止從超凈間的后門 （萬級(jí)間走廊及412房間都有后門）進(jìn)進(jìn)出出，走廊后門只限于運(yùn)輸氣瓶和垃圾廢液等物品；不帶外人4.禁止隨意帶其他沒有門禁的人員進(jìn)入超凈間實(shí)驗(yàn)

8、室做實(shí)驗(yàn)，有需求的人可以申請門禁開通，并接受超凈間基本守則的培訓(xùn)。保持清潔5.不得長期把垃圾堆放在走廊，要及時(shí)通知清潔阿姨來清理。,超凈間的基本規(guī)范,對于上述超凈間守則，如有違規(guī)者，視情節(jié)輕重進(jìn)行處罰。發(fā)現(xiàn)一次違反超凈間守則的，提出口頭批評；違反兩次以上的，檢討教育，并加以公示；情節(jié)嚴(yán)重者將在知會(huì)轉(zhuǎn)化中心主任的情況下，停止門禁10個(gè)工作日。若要提前開通，必須向微納中心繳納超凈間規(guī)范培訓(xùn)費(fèi)用50元/人/次（見微納中心網(wǎng)站收