mau系統(tǒng)

1、MAU System Introduction,2004-03-15,HAPPY_TANG,1、MAU的分布2、MAU工作原理,目錄,MAU：Make up air Unit 新風系統(tǒng),新風系統(tǒng)是為無塵室補充新風，保證無塵室內(nèi)一定的正壓；調(diào)節(jié)無塵室的濕度并對無塵室的溫度控制起到一定的作用。MAU供風分為FAB4的黃光區(qū)和一般制程區(qū)。FAB6C的測試區(qū)和非銅制區(qū)。,,,1、MAU的分布（FAB4 & FAB6C),55

2、76;C,85 °C,19 °C,13 °C,60 °C,2.MAU工作原理,Fab4 無塵室內(nèi)空氣循環(huán)示意圖,DAMPER:氣動風閥與風機連鎖,風機開啟時風閥打開,風機停止運轉(zhuǎn)時風閥關閉.起到保護空調(diào)機組件和保證MAU送風管路的封閉性.初中效過濾器:分別為F5和F7.對新風進行初級和中級的過濾,把大顆粒的塵埃過濾掉,提高高效和超高效過濾器的使用壽命,保證無塵室潔凈度.PREHEATER:對新

3、鮮空氣進行預熱,使之能夠滿足空氣處理的要求,同時保護盤管在低溫的室外條件下不被凍壞.COOLING COIL:冷盤管,對室外空氣進行冷卻和除濕,使得送進潔凈室的空氣能夠滿足濕度和溫度的要求.REHEATER:對經(jīng)過預熱和冷卻盤管處理的空氣進行再熱,使之能夠滿足送風的要求.FAN:MAU機組和MAU送風的動力來源.,MAU 主要組件功能說明,7. Attenuator :消音器;減小氣流震動,消除空調(diào)機帶來的噪音,以滿足無塵室對噪聲