精密片式薄膜固定電阻器的研究與制備

1、分類號密級UDC注1學(xué)位論文精密片式薄膜固定電阻器的研究精密片式薄膜固定電阻器的研究與制備與制備（題名和副題名）張青（作者姓名）指導(dǎo)教師姓名李偉教授教授博導(dǎo)博導(dǎo)電子科技大學(xué)電子科技大學(xué)成都成都周瑞山周瑞山研究員研究員中國振華集團云科電子有限公司中國振華集團云科電子有限公司貴陽貴陽（職務(wù)、職稱、學(xué)位、單位名稱及地址）申請學(xué)位級別碩士碩士專業(yè)名稱電子與通信工程電子與通信工程論文提交日期2010.4論文答辯日期2010.5學(xué)位授予單位和日期電

2、子科技大學(xué)電子科技大學(xué)答辯委員會主席評閱人2010年5月日注1：注明《國際十進分類法UDC》的類號摘要I摘要精密片式薄膜固定電阻器是一種應(yīng)用廣泛的通用電子元件，尤其在需要高穩(wěn)定性、高可靠性的航天、航空、國防以及在電子計算機、通訊儀器、電子交換機中應(yīng)用較多。外資企業(yè)幾年前就已經(jīng)開始批量生產(chǎn)，我國臺灣企業(yè)也是從前兩年開始量產(chǎn)，但大陸目前只有極個別的廠家能夠生產(chǎn)此類產(chǎn)品。本文的研究課題就是在這種背景下提出并著手研究的。本文主要采用雙離子束濺射

3、法制備固定電阻器用薄膜材料，并通過熱處理、激光調(diào)阻、端涂、電鍍等工序，最后制備出符合要求的精密片式薄膜固定電阻器。為制備出性能優(yōu)良的精密片式薄膜固定電阻器，本文分兩部分展開了研究。第一部分是電阻薄膜材料制備工藝與性能研究，重點研究低溫度系數(shù)電阻薄膜的制備方法。從陶瓷基片表面粗糙度和潔凈度、襯底溫度、濺射功率、濺射時間和熱處理溫度對薄膜性能的影響等著手，通過對多種工藝因素的反復(fù)實驗，最終制備出電阻溫度系數(shù)小于10ppm℃的電阻膜層。在第二