半導體生產設備信息化管理系統設計與實現

1、專業(yè)學位碩士學位論文半導體生產設備信息化管理系統設計與實現DesignandImplementationofSemiconductorManufacturingEquipmentInformationManagementSystem學41417139大連理工大學DalianUniversityofTechnology大連理工大學專業(yè)學位碩士學位論文摘要隨著半導體集成電路產業(yè)的持續(xù)向前發(fā)展和科技水平的不斷提高，該產業(yè)所涉及到的生產設備的種

2、類和功能也隨著自動化程度的提升而不斷增多，以全自動生產設備為主體半導體制造工廠的設備管理水平的高低將直接影響到工廠的未來發(fā)展。隨著工廠中各種生產設備規(guī)模的日漸龐大，所以設備涉及的管理系統的運作程度以及運作結果的好壞，會直接的對工廠的效益發(fā)生影響。半導體生產設備信息化管理系統，能夠降低設備管理方面的資源消耗，改善設備利用率，提高工廠在市場經濟下的競爭能力。本文對半導體生產工廠設備管理信息系統在現今形勢下的狀態(tài)和涉及未來發(fā)展方砸進行了綜合的

3、深入分析，研究了當前設備管理部分的相關問題和設備信息化管理系統在半導體工廠生產中的重要性與意義，介紹了國內外的各種相關設備管理系統的發(fā)展歷程以及研究發(fā)展的現實進度，包括設備在管理方面的主要核心思想、設備管理系統在當前條件下所存在的各種問題，并在未來可能面臨的機遇及挑戰(zhàn)。根據某300mm半導體工廠的實際需求，開發(fā)了半導體生產設備的信息化管理系統，其核心是在常規(guī)的設備管理基礎上，通過以太網通訊技術，可以實時的顯示設備的運行狀態(tài)，便于工程師監(jiān)

4、控；同時還能把設備上的運行參數的數據，傳送到數據庫，再把這些實時檢測數據和設備故障時產生的事件信息記錄收集起來以方便查閱分析。工程師通過這些數據，可以總結一些經驗教訓，來把握規(guī)律，以求可以盡量在設備故障發(fā)生前，提前的進行相關的動作，來減少設備在生產過程中的故障發(fā)生次數，減少設備因停機所造成的時間損耗，從而減少產能損失，降低工廠營運虧損。另外，還能使用該系統把設備維護所需的備件進行管控，提高工作效率。關鍵詞：設備管理；實時監(jiān)控；動態(tài)數據收