2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、聲表面波氣體傳感器由于具有靈敏度高;輸出信號(hào)為頻率信號(hào),易于與計(jì)算機(jī)接口;分辨率高;抗干擾能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),成為氣體傳感器的研究熱點(diǎn)之一。自組裝膜由于其具有良好的穩(wěn)定性和有序性,將其用于氣體傳感器敏感膜,能提高傳感器的響應(yīng)速度。將兩者相結(jié)合,利用聲表面波振動(dòng)的敏感性,同時(shí)結(jié)合了自組裝膜的特殊選擇性,作為氣體檢測的手段,可以對(duì)被測氣體進(jìn)行快速的定量測定,具有高靈敏度、響應(yīng)快、小型簡便等特點(diǎn)。 本論文提出了一種面向自組裝膜的聲表面波氣體

2、檢測平臺(tái),在聲表面波雙端諧振器上固定自組裝膜進(jìn)行檢測,并且能夠針對(duì)不同的氣體在其上固定不同的自組裝膜。由于自組裝膜需要在一定的基底上固定,并考慮到金表面穩(wěn)定、耐腐蝕,并且含硫化合物與之有強(qiáng)的相互作用,因此將金作為自組裝膜的基底材料,但是作為自組裝膜基底的金膜對(duì)聲表面波器件的頻率響應(yīng)會(huì)產(chǎn)生一定的影響。 本文主要對(duì)沉積金膜前后聲表面波器件的性能變化進(jìn)行分析。金膜的不同位置會(huì)產(chǎn)生不同的影響,利用耦合模理論對(duì)沉積金膜前后聲表面波器件進(jìn)行

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