基于氣動測量的球徑球度測量系統(tǒng)研究.pdf

1、本文所研究的課題來源于國防軍工計量"十五"計劃重點項目:球徑球度高準確度測量技術(shù)研究.主要進行球面氣動測量系統(tǒng)的原理研究、氣路及系統(tǒng)機構(gòu)的設(shè)計.作者參閱了國內(nèi)外相關(guān)文獻,進行了大量地試驗研究工作,完成了系統(tǒng)硬件的設(shè)計與研究.通過理論與實際相結(jié)合,深入研究了微噴嘴高壓差壓式球徑球度氣動測量系統(tǒng).使該系統(tǒng)工作在工作氣壓為0.4.MPa,主噴嘴孔徑φ0.4mm,測量噴嘴孔徑φ0.4mm的情況下,達到測量的線性范圍為82 um,靈敏度為42.9

2、my/um,測量的分辨率為0.1 um,球徑測量不確定度:(0.5+D/100)um,球度測量不確定度:(0.4+D/200)um,其中D為被測工件的直徑(mm),可以準確、穩(wěn)定、快速的實現(xiàn)對制造公差小于30 um的φ6～φ100mm的球形構(gòu)件的球徑及球度參數(shù)評定.該系統(tǒng)通過計算機進行自動數(shù)據(jù)采集、自動數(shù)據(jù)處理和線形量程的辨認、誤差分析來完成球面測量. 此外,重點分析了空氣壓縮機壓力波動對氣動測量氣源質(zhì)量影響的主要因素,建立了氣