半導(dǎo)體器件CETRM在線測(cè)量評(píng)價(jià)法及失效分析.pdf

1、隨著科學(xué)技術(shù)和工藝水平的不斷發(fā)展，半導(dǎo)體器件的可靠性和壽命不斷提高。如何在較短時(shí)間內(nèi)，對(duì)這些高可靠水平的器件進(jìn)行評(píng)價(jià)，及時(shí)的提供相關(guān)的可靠性信息，就成為一個(gè)急需解決的問題。 電子元器件往往要在宇宙空間中運(yùn)行的衛(wèi)星、火箭等高溫、高輻射的極端條件下使用，條件非常惡劣，超出了正常使用溫度范圍。并且，隨著技術(shù)的進(jìn)步，對(duì)電子器件所要求的可靠壽命也越來(lái)越長(zhǎng)。這就使得研究器件高溫特性和高溫下的退化特性，從而保證器件在各種溫度條件下正常工作具有

2、重要意義。 針對(duì)恒定電應(yīng)力溫度斜坡法(可靠性試驗(yàn)中的線下法測(cè)量時(shí)時(shí)間相對(duì)較長(zhǎng)的問題，提出CETRM在線測(cè)量的方法。在線法可以更精確的反映樣品參數(shù)的動(dòng)態(tài)退化，從而更快的得到試驗(yàn)結(jié)果。并利用器件失效敏感參數(shù)的溫度特性和在序進(jìn)應(yīng)力下的退化特性，建立了相應(yīng)的試驗(yàn)方案和數(shù)據(jù)處理方法。對(duì)試驗(yàn)所用的HP-VEE控制系統(tǒng)進(jìn)行了詳盡的介紹。通過線上試驗(yàn)得到了器件的高溫特性和高溫下的退化特性。試驗(yàn)數(shù)據(jù)證明了線上法的可行性。 通過對(duì)失效分析重