二硫化鉬復(fù)合固體潤(rùn)滑薄膜研究.pdf

1、隨著納米摩擦學(xué)和MEMS以及航天航空工業(yè)研究的深入進(jìn)行，超固體潤(rùn)滑的研究近年來(lái)得到了廣泛的重視。所謂超固體潤(rùn)滑技術(shù)指的是在干接觸條件下，使摩擦系數(shù)達(dá)到10<'-2>甚至10<'-3>數(shù)量級(jí)的特殊的超低摩擦系數(shù)的固體潤(rùn)滑技術(shù)。MoS<,2>作為一種優(yōu)良的固體潤(rùn)滑材料，在超固體潤(rùn)滑領(lǐng)域具有很高的應(yīng)用價(jià)值，特別是在減小微機(jī)械、電子系統(tǒng)以及航天航空工業(yè)中的摩擦磨損，提高其性能和壽命方面，基于MoS<,2>的超固體潤(rùn)滑技術(shù)具有很強(qiáng)的應(yīng)用空間。

2、 本文使用ECR射頻磁控濺射的方法制備了MoS<,2>/Ni復(fù)合固體潤(rùn)滑薄膜，并對(duì)其制備工藝進(jìn)行了初步研究，以及對(duì)這種復(fù)合固體潤(rùn)滑薄膜的摩擦學(xué)特性進(jìn)行初步探索。目的是為了使Ni/MoS<,2>復(fù)合固體潤(rùn)滑薄膜得到更低的摩擦系數(shù)，使其到達(dá)超固體潤(rùn)滑的要求，以及提高其綜合的摩擦性能。 制備MoS<,2>復(fù)合固體潤(rùn)滑薄膜的工藝參數(shù)為：功率160w，靶基距60mm，Ar<,2>壓強(qiáng)0.5Pa。同時(shí)還對(duì)膜層進(jìn)行了EDS和XRD分析，分

3、析結(jié)果確定了其主要成分為MoS<,2>，以及其主要晶面為(0002)晶面。 并在球盤(pán)摩擦實(shí)驗(yàn)機(jī)上，在變載荷，變轉(zhuǎn)速，變濕度的條件下，對(duì)MoS<,2>/Ni復(fù)合膜進(jìn)行了摩擦磨損實(shí)驗(yàn)，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明MoS<,2>/Ni復(fù)合膜能大大降低不銹鋼等基底表面的摩擦系數(shù)，并且在高速重載的環(huán)境下(載荷大于3N，轉(zhuǎn)速大于300r/min)有更低的摩擦系數(shù)和更高的摩擦穩(wěn)定性。 對(duì)復(fù)合膜通過(guò)熱處理后，將薄膜使用掃描電子顯微鏡(SEM)對(duì)薄膜的表